干法刻蚀LiNbO3刻蚀铌酸锂

厂商 ：北京松信宏泽科技有限公司

北京
  • 主营产品：
  • 食品安全检测仪
  • 辐射剂量仪
  • 英国PPM甲醛检测仪
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商品详细描述

干法刻蚀LiNbO3—刻蚀铌酸锂

干法刻蚀LiNbO3—刻蚀铌酸锂

技术: • 平行板系统
• 冷却的基板电极
• 13.56兆赫兹等离子体激励
结果:
• 速率：大约3纳米/分钟
• 对钛掩模的选择比大约20：1
• 光滑的底部
（本速率可以通过增加转移到铌酸锂上的掩模面而提高）
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