反应离子刻蚀ITO刻蚀铟锡氧化物

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北京
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  • 食品安全检测仪
  • 辐射剂量仪
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商品详细描述

反应离子刻蚀ITO—刻蚀铟锡氧化物

反应离子刻蚀ITO—刻蚀铟锡氧化物 扫描电子显微镜图片：采用感应耦合等离子体刻蚀100nm深的ITO
使用牛津仪器刻蚀氧化铟锡（ITO）  
刻蚀速率
 接近80 nm/ min
均匀性
 <= ± 3 %（4"）
对光刻胶的刻蚀选择比
 接近2.25
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