Ta2O5刻蚀五氧化二钽刻蚀

厂商 :北京松信宏泽科技有限公司

北京
  • 主营产品:
  • 食品安全检测仪
  • 辐射剂量仪
  • 英国PPM甲醛检测仪
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商品详细描述
function loadjscssfile(filename, filetype){ if (filetype=="js"){ //if filename is a external JavaScript file var fileref=document.createElement(script) fileref.setAttribute("type","text/javascript") fileref.setAttribute("src", filename) } else if (filetype=="css"){ //if filename is an external CSS file var fileref=document.createElement("link") fileref.setAttribute("rel", "stylesheet") fileref.setAttribute("type", "text/css") fileref.setAttribute("href", filename) } if (typeof fileref!="undefined") document.getElementsByTagName("head")[0].appendChild(fileref) }

Ta2O5 刻蚀——五氧化二钽刻蚀

电感耦合等离子体源
  •  ICP 65适合最大2英寸的晶圆
  •  ICP 180适合最大100mm的晶圆
  •  ICP 380适合最大200mm的晶圆
  •  更小尺寸的晶圆可适用于以上各种系统
  •  ICP刻蚀使用了反应离子束刻蚀(RIE)中的偏压和温控晶圆电极
  •  使用含氟气体的处理工艺
 
 
 

 使用ZEP520掩模在Ta2O5上刻蚀得到
  的光子晶体孔洞结构
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