刻蚀GaSb刻蚀锑化镓

厂商 :北京松信宏泽科技有限公司

北京
  • 主营产品:
  • 食品安全检测仪
  • 辐射剂量仪
  • 英国PPM甲醛检测仪
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商品详细描述
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刻蚀GaSb—刻蚀锑化镓

刻蚀GaSb—刻蚀锑化镓 刻蚀7微米深锑化镓
技术 • 采用感应耦合等离子体源(2或13兆赫兹)进行反应离子刻蚀
• 感应耦合等离子体
• 射频驱动基板电极
结果
• 速率:2微米/分钟
• 对SiO2掩模的选择比25:1
• 良好的均匀性
• 光滑的表面
• 各向异性的外形
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