单热型沉积氧化锌原子层

厂商 :北京松信宏泽科技有限公司

北京
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  • 食品安全检测仪
  • 辐射剂量仪
  • 英国PPM甲醛检测仪
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商品详细描述
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ZnO ALD(单热型)—沉积氧化锌原子层

ZnO ALD(单热型)—沉积氧化锌原子层 用于原子层沉积的OpAL

氧化锌原子层沉积
  • 源:二乙基锌
  • 无金属源:水
  • 温控蒸汽提取
  • 快速脉冲原子层沉积阀控制剂量
  • 沉积温度50-200 oC
  • 周期时间4秒
-每周期厚度 1.9 埃(饱和剂量)
  • 电阻率5 x10-4 欧姆•厘米
  • 150oC下的碳杂质小于2%
  • 均匀性:100mm直径范围内公差小于± 1%
  • 重复性:± 1%
  • 折射率:1.90-1.95
  • Zn:O = 1:1
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