高纯氨气

厂商 :苏州金宏气体股份有限公司

江苏 苏州
  • 主营产品:
  • 高纯/超纯气体
  • 超纯氨
  • 混合气
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商品详细描述
超纯氨是微电子氮化硅掩蔽膜的主要原材料,其反应为: 750—850℃ :SiH4+NH3---Si3N4+H2+N2 ,850—900℃ :SiCl4+NH3---Si3N4+HCl+N2。虽然NH3在半导体制造用量不大,但在光电子领域、超纯氨是十分重要的原材料,NH3的质量好坏直接决定发光二极管(LED)的亮度,它的价格高低左右着LED的经济性。发光二极管LED是继爱迪生发明电灯后,人类又一次照明工业的革命,发达国家(包括我国台湾省在内)为在此领域获得更大的主动权,纷纷成立国家照明工作委员会,LED现已产业化生产,台湾生产的LED已大量进入我国市场,为打破专利垄断,中国成立了照明工作领导办公室,中国将在2006年全面推广半导体照明,届时对NH3的需求将猛增。LED是利用超纯氨同三甲基镓(被称为MO源)反应,生成GaN半导体的,其反应为 650℃ Ga(CH3)3+NH3 ,GaN+CH4N2 发达国家光电子发展速猛,处于成熟期,因此,极大推动气体公司对氨提高纯度的研究,AP公司的Solkatronic chemicals 推出的NH3纯度达到6.4N,被称为“Blue Ammonia”。它是采用工业氨经吸附——精馏——深度化学净化等联合工艺,对氨进行净化。亚洲的日本昭合电工株式会社,有电子级氨对外出售,目前,我国许多LED生产用户所用的进口氨,基本上是普莱克斯、APCI和日本昭合电工。我国对氨净化、分析等的研究起步于80年代,当时为满足我国微电子工业的需要,光明化工研究设计院、北京氧气厂先后开展了电子级高纯氨的研究与生产,生产的产品满足了当时我国电子工业对氨的急需,进入2000年光明院又承担了国家十五“863”“超纯氨的研究与产业化生产”课题,在国家资金的资助下,经过系列的研究,克服了氨净化过程中的“马蹄型”效益,在原有的基础上,对氨净化技术,大规模生产技术,产品包装技术等诸多方面有突破性进展,现有100kg超纯氨包装容器20多支,往返生产与用户之间,整个生产线实现了自动化,产量达到500t/a,生产的产品三年来一直应用于LED生产线,是目前国内唯一真正用于LED大规模实用化生产流水线的氨生产厂,预计在今年年底,随着用户对MOCVD设备的再次扩大,国产氨用量将大规模攀升。
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