广州小流量气体质量流量传感器

厂商 :广州昊仪自动化科技有限公司

广东 广州
  • 主营产品:
  • 广东气体质量流量计
  • 广东智能齿轮流量计
  • 广东智能超声波流量计
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商品详细描述
广东流量计,广州小流量气体质量流量传感器
HFS4001
小流量气体质量流量传感器是专门为各类小流量气体的测量和过程控制而设计的。这一系列传感器均采用本公司自主研发的微机电系统(MEMS)流量传感芯片来制作,适用于各类清洁、干燥气体。独特的封装技术使之在相同的管径下可测量不同范围的流量,成本低、易安装、不需要温度压力补偿,可替代容积式或压差式的传统流量传感器并配以多种信号输出,通过通讯接口可实现对传感器的灵活配置与参数查询。 
 
小流量气体质量流量传感器特点:
  • 传感器灵敏度高,有极小的始动流量
  • 传感器芯片采用热质量流量计量,无需温度压力补偿,保证了传感器的高精度计量
  • 在单个芯片上实现了多传感器集成,使其量程比达到了100:1甚至更高  
  • 输出方式灵活,既可通过通讯接口主动上传数据(RS232),也可通过模拟接口输出线性的模拟电压
  • 零点稳定度高
  • 全量程高稳定性、高精确度和优良的重复性
  • 低功耗、低压损
  • 响应速度快
 
小流量气体质量流量传感器术参数:
HFS4001
 
030,100,200,500,1000,
sccm
量程比
>1001
 
精度
±1.5±0.5FS
%
重复性
±0.25
%
零点输出飘逸
±30
mV
输出飘逸
0.2
%/oc
响应时间
48163365131
ms
工作电源
8~18Vdc,50mA
 
输出方式
RS232,模拟电压0.5~4.5Vdc
 
最大流量压损
350                 300
Pa
最大流量压力
0.5
MPa
工作温度
-5~+55
oC
存储温度
-20~+65
oC
工作湿度
<95%RH(无结冰、无凝露)
 
机械接口
5.2mm可拆式软管连接
 
校准方式
空气(或其他气体),20oC,101.325kPa
 
重量
15
g
广州昊仪自动化设备有限公司
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