厂商 ：肇庆市创辉真空设备有限公司
广东 肇庆- 主营产品：
- 蒸发式镀膜机
- 涂料专用真空镀膜机
- 小型真空电镀机
联系电话 ：13827519140
商品详细描述
- 主要技术指标
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设备名称 |
TGP-600多弧离子镀膜机 |
TGP-800多弧离子镀膜机 |
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真空室尺寸 |
Φ600mm×H600mm |
Φ800mm×H900mm |
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可镀空间 |
Φ300mm×H300mm |
Φ500mm×H600mm |
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基片台 |
0-20RPM、磁流体轴密封、公自转基片台 | |
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多弧靶 |
6或9只多弧靶 | |
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电源 |
多弧电源、偏压电源 | |
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工件烘烤温度 |
室温至400℃可控可调 | |
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真空室结构 |
立式前开门结构，后置抽气系统，双层水冷腔室 | |
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真空系统 |
扩散泵+机械泵+维持泵,从大气至10-3Pa恢复真空时间≤20min | |
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极限真空 |
5.0×10-4Pa | |
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控制系统 |
自动抽真空 | |
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报警及保护 |
对泵、靶等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施 | |
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选购件 |
冷却循环水机 | |
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