奥林巴斯显微镜MX61/MX61L

厂商 :东莞市昱和仪器设备有限公司

广东 东莞
  • 主营产品:
  • 高度仪VT-600
  • 稳压电源 UPS
  • 盐雾 试验机
联系电话 :13416684320
商品详细描述
产品名称:OLYMPUS工业检查显微镜
产品编号:OLYMPUS工业检查显微镜价格01
产品型号:MX61/MX61L
更新时间:2009.05.18
出品单位:金相显微镜|显微镜|体视显微镜|工具显微镜|生物显微镜|金相显微镜
|东莞市奥科仪器有限公司  浏览次数: 36







产品详细介绍:

OLYMPUS工业检查显微镜MX61/MX61L的介绍:
与我们长期的经验领域中的工业和材料科学,奥林巴斯还提供了许多明确的解决方案,使电子设备的检查更容易,更快,更有效。
MX61/MX61L半导体检查显微镜已经制定具体,以满足晶圆检测。这些用户友好显微镜可以让运营商工作,符合人体工程学的正确的立场并从中受益的运作畅顺整个延长检查时间。生产力和一体化的文书的工作领域,从而最大化。
OLYMPUS工业检查显微镜MX61/MX61L的特点:
●大型载物台搭载:可用于400*300mm液晶基板,300mm晶圆全面检查(MX61L)
●采用高NA的透射光聚光镜,图象更锐利;
●多种观察方式,多种照明方式,多种附件以满足不同应用要求;
●透射和反射照明可同时使用,极大提高液晶基板观察效果。
缩短检查用时,提高检查效率
自动聚焦附件 MX-AF
透射光检查照明 MX-TILLA/MX-TILLB
MX专用的自动聚焦附件可配合所有的反射光照明观察方式,甚至包括暗视场和微分干涉相衬观察。实现快速和精确的自动对焦,甚至观察方式转换时也能实时准确的找到焦面。
两种照明装置可选,通用型及高数值孔径型。为FPDMASK板检查提供合适的照明,并且可配备起偏镜,实现投射光简易偏光观察。
高反差,更高分辨率,更高倍率检查
用于光刻胶残留检查的荧光观察方式
共聚焦附件 U-CFU
荧光分光镜模块
共聚焦光学系统可以提供更高的反差和分辨率,分辨率可达0.18μm,并可对多层线条的器件分层对焦,获得高分辨率,高反差的共焦图像。
备有U.B.G等多种荧光方式可选,用于光颗胶残留以及OLED检查。
方便的通讯接口用于显微镜倍率和孔径光阑的控制和参数获得 RS232C
用于晶圆以及器件,甚至焊脚的内部检查 近红外线观察附件
MX61/MX61L标配包括一个RS232C接口,使得用PC控制显微镜电动部分成为可能,并且可以实现使工艺线上的几台显微镜都在同样的设定状态下工作。
包括专门的红外物镜等附件,对从可见光到近红外波段光线的像差做矫正,用于IC深层或内部检查,可实现对WAFER BUMP的全面检查。

半导体/FPD检查显微镜MX61规格

光学系统
UIS2光学系统(无限远校正)
机身
观察方法
明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光
反射/透射
反射/透射
照明装置
机身一体型(明视场,暗视场+1选件)
照明系统
反射照明
100 W卤素/100 W水银/75 W
透射照明
纤维光导
对焦单元
电动/手动
手动
行程
32 mm
分辨率/微调灵敏度
微调旋钮转动1周移动0.1 mm
最大样本高度
30 mm
物镜转换器
电动型
明视场微分干涉6
明暗视场微分干涉5

明暗视场微分干涉6

明暗视场微分干涉中心输出5

手动式
-
载物台
行程
8×8 英寸右下手柄:210X)×210Ymm(透射照明范围189×189 mm

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