厂商 ：陕西海联化玻仪器化工有限公司
陕西 西安- 主营产品：
- 灭菌器三洋MiURA
- 海尔三洋松下低温冰箱
- 松下-三洋超低温冰箱
联系电话 ：13909289056
商品详细描述
CVD系列真空气氛管式炉
广泛适用于高、中、低温CVD工艺，例如：碳纳米管的研制、晶体硅基板镀膜、纳米氧化锌结构的可控生长等等；也可适用于金属材料的扩展焊接以及真空或保护气氛下热处理。海联特供028-87439777
主要特点CVD系列真空气氛管式炉采用高纯石英管或刚玉管作为内炉膛。可拆卸式的三面密封方式，具有良好的洁净度和真空度；耐火，保温材料全部采用先进的轻质纤维制品，整机质量轻、能耗低；加热元件采用U型硅铝(碳)棒或原装进口电阻丝；CVD系列真空气氛管式炉温控系统采用进口多段智能程序温度控制仪控制，温度控制具有良好的稳定性、重复性。
技术指标
设备型号CVD（D）-06/60/3CVD（Z）-06/30/1CVD（G）-07/50/2CVD（G）-09/50/1
最高温度1050℃1300℃1650℃/1000℃1650℃
使用温度RT—1000℃850-1300℃1000-1600℃1000-1600℃
控制精度±1.5℃±1.5℃±1.5℃±1.5℃
温区个数3个1个2个1个
加热区长度600mm300mm500mm(300mm/200mm)500mm
炉管尺寸ф60（外径）×1400（mm）ф60（外径）×1000（mm）ф70（外径）×1450（mm）ф90（外径）×1450（mm）
炉管材料石英管刚玉管刚玉管刚玉管
发热元件进口电阻丝电阻丝/硅碳棒硅钼棒、电阻丝硅钼棒
最大装机功率4.5KW3kw/8kw10kw12kw
CVD-□□□
选件功能/□/□
V 真空系列：单级机械泵+扩散泵机组
Q气氛系统：浮子流量计；进口/国产质量流量计
备注：以上CVD系列真空气氛管式炉设备系统具备冷态极限真空6.67×10-2Pa接口条件；其他特殊工艺要求的订货时请说明。
广泛适用于高、中、低温CVD工艺，例如：碳纳米管的研制、晶体硅基板镀膜、纳米氧化锌结构的可控生长等等；也可适用于金属材料的扩展焊接以及真空或保护气氛下热处理。海联特供028-87439777
主要特点CVD系列真空气氛管式炉采用高纯石英管或刚玉管作为内炉膛。可拆卸式的三面密封方式，具有良好的洁净度和真空度；耐火，保温材料全部采用先进的轻质纤维制品，整机质量轻、能耗低；加热元件采用U型硅铝(碳)棒或原装进口电阻丝；CVD系列真空气氛管式炉温控系统采用进口多段智能程序温度控制仪控制，温度控制具有良好的稳定性、重复性。
技术指标
设备型号CVD（D）-06/60/3CVD（Z）-06/30/1CVD（G）-07/50/2CVD（G）-09/50/1
最高温度1050℃1300℃1650℃/1000℃1650℃
使用温度RT—1000℃850-1300℃1000-1600℃1000-1600℃
控制精度±1.5℃±1.5℃±1.5℃±1.5℃
温区个数3个1个2个1个
加热区长度600mm300mm500mm(300mm/200mm)500mm
炉管尺寸ф60（外径）×1400（mm）ф60（外径）×1000（mm）ф70（外径）×1450（mm）ф90（外径）×1450（mm）
炉管材料石英管刚玉管刚玉管刚玉管
发热元件进口电阻丝电阻丝/硅碳棒硅钼棒、电阻丝硅钼棒
最大装机功率4.5KW3kw/8kw10kw12kw
CVD-□□□
选件功能/□/□
V 真空系列：单级机械泵+扩散泵机组
Q气氛系统：浮子流量计；进口/国产质量流量计
备注：以上CVD系列真空气氛管式炉设备系统具备冷态极限真空6.67×10-2Pa接口条件；其他特殊工艺要求的订货时请说明。
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