厂商 ：北京天海利华科技有限公司
北京 北京- 主营产品：
- 腐蚀机
- 电镀设备
- 甩干机
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商品详细描述
研磨后硅片清洗机设备
1．本半导体研磨后清洗设备用于清洗去除研磨后硅片表面上的金刚砂，AL2O3，SIC，金属离子（NA+，SI+，K+，AL3+）等。
2．用于于Φ3″、Φ4″、Φ5″、Φ6″硅片
3．100枚/4花篮（PFA花篮）/一次的处理能力
4．各药液槽均有低液位保护和声光报警装置
5．超声波采用浸入式形式。
6．设备具有独立的电控柜
7．鼓泡溢流工位
8．清洗的时间、温度的控制均采用自动控制
9．循环泵的控制有自动/手动两种方式，自动条件下，清洗开始循环泵启动，清洗结束循环泵停止，循环泵出口配压力表。
1．本半导体研磨后清洗设备用于清洗去除研磨后硅片表面上的金刚砂，AL2O3，SIC，金属离子（NA+，SI+，K+，AL3+）等。
2．用于于Φ3″、Φ4″、Φ5″、Φ6″硅片
3．100枚/4花篮（PFA花篮）/一次的处理能力
4．各药液槽均有低液位保护和声光报警装置
5．超声波采用浸入式形式。
6．设备具有独立的电控柜
7．鼓泡溢流工位
8．清洗的时间、温度的控制均采用自动控制
9．循环泵的控制有自动/手动两种方式，自动条件下，清洗开始循环泵启动，清洗结束循环泵停止，循环泵出口配压力表。
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