厂商 ：曼什制造
山东 青岛市- 主营产品：
- 真空炉
- 扩散炉
- 链式炉
联系电话 ：16252634111
商品详细描述
| 适用工艺：扩散、氧化、合金、退火等工艺。 | |
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应用：应用于集成电路、分立器件、光电子器件、电力电子器件、太阳能电池等领域，适用2~8英寸工艺尺寸 产品特点： ◆主机为水平一至三管炉系统构架，独立完成不同的工艺或相同工艺 ◆工业计算机控制系统，对炉温、进退舟、气体流量、闸门等动作进行自动控制 ◆采用悬臂送片器：操作方便、无摩擦污染等 ◆关键部件均采用进口，确保设备的高可靠性 ◆工艺管路采用进口阀门管见组成-气密性好、耐腐蚀、无污染（管路均采用EP级电抛光管 路），流量控制采用质量流量计（MFC）进口 ◆控温精度高，温区控温稳定性好 ◆具有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种安全保护功能 ◆高质量的加热炉体，确保恒温区的高稳定性及长寿命 氧化炉主要技术指标 1、工艺说明 1.1氧化：干氧工艺，湿氧工艺（去离子水、氢氧合成-内/外点火） 1.2扩散：硼扩、磷扩（液态源、固态源等） 1.3合金、退火等工艺 2、系统组成：主机（加热体、石英/SiC管、功率组件等)、自动送片（悬臂-SiC）净化工作台、气路气源系统（气源柜）、计算机控系统等组成 3、控制方式：手动送片/自动送片 4、氧化炉配置（可选）： 4.1仪表控制/计算机控制 4.2工艺管（水平结构）：1-3管 4.3工艺规格：2~6英寸晶圆或125mm×125mm、156mm×156mm太阳能电池片（工艺腔体为石英或碳化硅） 4.4恒温区长度：800mm/600mm/450mm 4.5晶圆装载：手动/悬臂式（刚玉/碳化硅杆，碳化硅桨） 4.6工作台：有净化/无净化 4.7工艺气路：对应的工艺气路，气路阀门组件采用国际优质品牌产品（如SWAGELOK、PARK、SANDVIK、CARDINAL等等），MFC国际优质（如MKS、UNIT、STEC等）或国产优质 5、主要技术参数： 5.1工作温度：200～1300℃ 5.2加热体控制点：3点 5.3炉体恒温区：450mm/600mm/800mm 5.4恒温区精度：＞800℃/±0.5℃ ，＜800℃/±1℃ 5.5单点温度稳定性：600～1300℃/ ±0.5℃/24h 5.6最大可控升温速度：15℃/min 5.7最大降温速度：5℃/min（900～1300℃） 5.8供电：三相四线，380VAC/50HZ 6、氧化炉结构尺寸： 6.1 结构：水平扩散炉 垂直扩散炉 6.2尺寸结构如图（参考）  |
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