硅靶材加工

厂商 ：广州市尤特新材料有限公司

广东 广州市
  • 主营产品：
  • 磁控溅射靶材
  • 真空镀膜靶材
  • 陶瓷靶材
联系电话 ：18026253787
商品详细描述
产品参数
加工定制：是 种类：靶材 规格尺寸：平面、管状 品牌：尤特新材 工艺：绑定工艺 产地：广东广州 管靶加工工艺：真空喷涂
产品特点

在极大规模集成电路制作工艺过程中，每150mm 直径硅片所能允许的微粒数必须小于 30 个。怎样控制溅射靶材的晶粒，并提高其致密度以解决溅射过程中的微粒飞溅问题是溅射靶材的研发的关键。靶材溅射时，靶材中的原子容易沿着密排面方向优先溅射出来，材料的结晶方向对溅射速率和溅射膜层的厚度均匀性影响较大，终影响下游产品的品质和性能。需根据靶材的组织结构特点，采用不同的成型方法，进行反复的塑性变形、热处理工艺加以控制。

产品实拍
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