全自动紫外光刻机

全自动紫外光刻机
技术特征——非常适合工厂（效率高，操作傻瓜型，全自动）和高校教学科研（可靠性好，演示方便）
采用三爪找平，具备真空接触曝光、硬接触曝、压力接触曝以及接近式曝光四种功能，自动分离对准间隙和消除曝光间隙，采用350W进口（德国）直流汞灯，可调节光的能量密度。设备外形美观精制，性能非常可靠，自动化程度很高，操作十分方便。

URE-2000/35型紫外光刻机
1,采用专利技术——积木错位蝇眼透镜平滑衍射效应和实现均匀照明；
2,采用三爪和球气浮同时找平，无论大片、小片调平精度均高；
3,具备真空接触曝光、硬接触曝、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能；
4,自动分离对准间隙和消除曝光间隙，间隙分离可达500μm；
5,高倍率双目双视场显微镜和22英寸宽屏液晶显示同时观察对准过程，并提供USB输出；既满足高精度对准，又可用于检测曝光结果，且曝光结果和方便存储；
6,电机机构、弹性元件和传感器保证接触曝光压力合适且重复性好；
7,曝光波长采用纯净365nm,冷光照明（曝光面能量15mW/cm，温度小于30度）；
8,对准完成，自动消除曝光间隙，无横向漂移且可通过监视器观察；
9,快门可以单独开启，也可以数字设定自动倒计时曝光（设定范围0.1s-9999s）；
10,采用350W进口（德国）直流汞灯，可调节光的能量密度；
11,汞灯具有高亮度和“待机”两种方式，即曝光时采用高亮度照明，而不曝光时采用低亮度的“待机”，从而延长了汞灯寿命。
12,设备外形美观精制，性能非常可靠；
13,上下片、版十分方便，自动化程度很高，操作简便。对高校教学科研（可靠性好，演示方便）及工厂(效率高)成为适宜。
二．技术参数
1,曝光面积：100mm×100mm；（可升级6英寸）
2,分辨力：≤1mm（胶厚2mm的正胶）；
3,对准精度：±0.8mm；
4,掩模样片整体运动范围：X：6mm;Y:6mm；
5,掩模尺寸：2.5寸、3寸、4寸、5寸；
6,样片尺寸：直径Ф15mm--Ф100mm(可适应非标准片或碎片)、厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm)；
7,照明均匀性：±3-4%（Ф100mm范围）；
8,掩模相对于样片运动行程：X:±5mm; Y:±5mm; q: ±6度；
9,汞灯功率：350W（直流）；
10,曝光波长：365nm；
11,曝光能量密度：≥ 15mW/cm；
12,曝光方式：定时（到计时方式0.1s—9999s）