高精度三坐标测量机

一、稳定的机械结构 ①单边高架移动桥式设计，移动质量更轻，驱动更接近移动质心，减小阿贝误差，有效提高了运动性能与精度稳定性。 ②高刚性高性能气浮导向，无摩擦无磨损，三轴均采用四面环抱式设计，具备气浮压力监测功能，有效确保稳定性。 ③三轴采用超低线温度线膨胀系数光栅尺，对温度变化不敏感，有效提高整机的精度。 二、新材料应用 ①关键结构部分采用高精密碳化硅陶瓷材料，移动桥在质量更轻的同时，具备更高刚性与更低温度线膨胀性能，极大 ②提高了精度与长期可靠性。 三、安全性 ①Z 轴采用平衡气缸气动逻辑保护和硬件抱死保护两种保护机制，可在紧急情况下确保探测系统的安全。