瑞士丹青Compact WLI白光干涉微观形貌及粗糙度仪

瑞士丹青Compact WLI白光干涉微观形貌及粗糙度仪是用于记录3D形貌光学测量技术，其分辨率高达纳米级。测量点平行采集和处理，大面积的高度信息可以在很短时间内采集。研究和质量管理过程中的典型应用有：物体表面的不同粗糙度特性（晶圆结构、镜面、玻璃、金属等）、确定高度变化以及曲面的精密测量（如微透镜等）。

WLI白光干涉传感器特点：
◆直接3D测量
◆非常快速
◆高精度，分辨率0.1nm
◆2.5x~100x干涉镜头
◆50x以上干涉镜头用于高反射表面
◆集成拼接功能
◆测量范围400?m
◆适用于所有材料
◆高速压电陶瓷Z轴
◆2百万或5百万像素摄像头(根据测量需求配置)
◆Trimos提供基于WLI技术的解决方案并通过Trimos Nanoware测量软件对整个测量过程进行控制和分析。
◆Trimos在本领域进行了广泛的研究并积累了丰富的经验，因而能提供、稳定、的分析算法。