水封桶

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原理：

在储罐上设置氮封系统，维持罐内气相空间压力在2KPa左右，当气相空间压力高于2KPa时，氮封阀关闭，停止氮气供应；当气相空间压力低于2KPa时，氮封阀开启，开始补充氮气，保证储罐在正常运行过程中不吸进空气，防止空气中的尘埃、CO2等污染物进入DI水中形成二次污染。

1）在每台储罐上设置先导式氮封阀组和溢流水封箱，正常情况下使用氮封阀组维持罐内气相空间压力在2KPa左右，当气相空间压力高于2KPa时，氮封阀关闭，停止氮气供应；当气相空间压力低于2KPa时，氮封阀开启，开始补充氮气。

2）当氮封阀需要检修或故障时：

在负压低于-1Kpa时，溢流管水封箱从防负压口吸入空气，防止负压过高导致水箱吸扁；在压力高于2KPa时，通过溢流管水封箱的溢出口外排多余的氮气，防止水箱膨胀破裂，以防止事故扩大。

3）当DI水箱液位器需要检修或故障时：

如DI水箱的液位器出现异常时，水箱满水通过溢流管水封箱的溢出口外排多余的水，防止水箱膨胀破裂，以防止事故扩大。