厂商 ：郑州科探仪器设备有限公司
河南 郑州市- 主营产品：
桌面小型蒸镀仪 工艺控制：PC/PLC机制的自动控制、数据处理、工艺记忆储存； - 原位监控：石英晶振监测(QCM)，光学监测，残余气体分析，其他原位监测技术或控制； - 衬底固定：单衬底固定，客户化衬底固定方式； - 衬底夹具：加热，冷却，偏置，旋转等； - 保护样品：配有样品挡板，可手动或自动开/关挡板，达到及时遮挡样品效果； 不同真空度 不同镀膜时间镀铜样品图 637858771737832260197.png 原样品没有镀膜 637858771732996198687.png 115A 100秒 机械泵 637858771732840196319.png115A 100秒 分子泵抽12分钟 637858771732684194803.png 115A 120秒 分子泵抽20分钟 真空度越高 越不易氧化 越接近金属本色 桌面小型蒸镀仪KT-Z1650CVD 控制方式 7寸人机界面 手动 自动模式切换控制 加热方式 数字式功率调整器 镀膜功能 0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序 最大功率 ≤1200W 最大输出电压电流 电压≤12V 电流≤120A 真空度 机械泵 ≤5Pa（5分钟） 分子泵≤10^-3Pa 挡板类型 电控 真空腔室 石英+不锈钢腔体φ160mm x 160mm 样品台 可旋转φ62 （最大可安装φ50基底） 样品台转速 8转/分钟 样品蒸发源调节距离 70-140mm 蒸发温度调节 ≤1800℃ 支持蒸发坩埚类型 钨丝蓝 带坩埚钨丝蓝 钨舟 碳绳 预留真空接口 KF25抽气口 KF16真空计接口 KF16放气口 6mm卡套进气口 可选配扩展 机械真空泵（可抽真空 5分钟＜5Pa） 数显真空计（测量范围大气压到0.1Pa） 分子泵机组（可抽真空20分钟≤5x10-3Pa）
