离子源栅网

离子源栅网直接影响膜层均匀性和致密性的重要易耗性配件。

日本进口离子源栅网适用于考夫曼和射频等多种机型的离子源，可直接替换同类品牌产品，性能优良，价格低廉。

离子栅网系统中的栅网一般为三栅式结构，分别包括屏栅、加速栅和减速栅，其中屏栅相距等离子体近，减速栅相距等离子体远，加速栅位于屏栅与减速栅之间，屏栅的电势高与等离子体内部的电势相接近，加速栅的电势为负值，减速栅的电势为零。离子束流依次经过三片栅网终获得一定空间浓度分布的离子束。三栅式结构的栅网对于装调精度要求很高，各栅网之间的距离、各栅网上孔洞的相对偏转角度等都会对离子栅网系统的工作稳定性和对离子束流的控制能力产生较大影响。