CVD气相沉积炉

为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应，因而这处CVD称为等离子体增强

化学气相沉积法（PECVD）

为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应，因而这处CVD称为等离子体增强

化学气相沉积法（PECVD）

·开户式管式炉-工作温度：1200℃

·炉管尺寸：Φ50，Φ60，Φ80

温度控制器：30段高精度数字可编程温度控制器

加热区长度：440mm

·恒温区长度：150mm

·功率：AC 220V 4KW

·等离子射频电源

·输出功率：50-500W最大可调±1％

·RF频率：13.56MHz的±0.0051％稳定可调

·冷却：风冷

·输入功率：1KW AC 220V

·真空度可达10-3torr

·质量流量计-内部装有高精度数字显示

·质量流量计可准确的控制气体流量

·外形尺寸-炉体：550x380x520mm

·供气及真空系统：600x600x597mm

·净重：120KG