厂商 :济南创谱仪器有限公司
山东 济南市- 主营产品:
- 探针台
- 光电测试系统
- 光谱测量系统
联系电话 :15550073138
商品详细描述
产品信息:
在实际得科研生产中,由于样品/晶圆(Wafer)得尺寸越来越大,用于测试的探针台相当昂贵,我司根据客户市场应用自主研发的这款结构小巧,功能实用,成本较低的简易式探针台,在满足基本测试功能基础上,去除了非必要得部件,该探针台系统包含:光学成像部分,隔振平台,探针座,四维调整载片台(Chuck),真空吸附系统;
创谱仪器可以根据客户应用搭建探针台,以达到更好得使用效果和性价比。
技术参数:
◆样品台XYZR四维调节,XY行程根据样品台尺寸/晶圆尺寸而定,Z轴行程10mm,XYZ整体分辨率3μm,360°旋转粗调可锁紧
◆兼容多种光学显微镜,可以引入光路,完成光电mapping测试
◆整体尺寸小,方便携带,底部隔振地脚,提高测试稳定性
◆漏电流精度:10pA/100fa(KEITHLET2636B实测)
◆探针采用交叉滚珠导轨/精密燕尾槽,线性移动,无回程差设计
◆1微米以上电极/PAD使用
◆U型探针架,可以放置多个探针座
◆多被用于晶圆测试、LED测试、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、太阳能电池片测试、材料表面电阻率测试等;广泛用于科研院校以及公司!
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