厂商 :那诺-马斯特中国有限公司
上海市 上海市- 主营产品:
- ALD
- PECVD
- RIE
联系电话 :17317363700
商品详细描述
MOVPE设备概述:
MOVPE,也就是大名鼎鼎的MOCVD(金属有机物化学气相沉积), 针对InGaN及AlGaN沉积工艺所研发的台式等离子辅助金属有机化学气相沉积系统(PA-MOCVD),该系统具有加热的气体管路、5个鼓泡装置(各带独立的冷却槽)、950度样品台三个气体环、PC全自动控制、淋浴式气体分布的RF射频等离子源以及工艺终端的N2冲洗、 250l/sec涡轮分子泵及无油真空泵(5 x 10-7Torr极限真空),完全的安全互锁。
目前,NANO-MASTER(那诺-马斯特)的这项技术延伸到5个4"晶圆的立柜式独立批处理系统,该系统可以集成到集群配置中以满足高产量的要求。
MOVPE设备型号:
- 台式系统
- 5个带独立冷却槽的起泡器
- 加热的气体管路
- 950 °C样品台,2"晶圆片
- 3个气体环
- RF等离子源,带淋浴头气体分布
- 工艺完成后N2自动冲洗
- 极限真空5x10-7Torr
- 250 l/s的涡轮分子泵串接无油干泵
- 通过LabView软件实现PC计算机全自动控制
- 菜单驱动,4级密码访问控制
-
完整的安全联锁
配置:
- 独立系统
- 14"不锈钢立方体腔体
- 1次在8"样品台上处理1个6"晶圆片或在12"样品台上处理5片4"片子
- 加热的气体管路
- RF等离子源,自动调谐
- 淋浴头气体分布
- 1100°C的旋转样品台
- N2冲洗
- 手动或自动的晶圆片上下载
-
可以兼容到集群配置中
应用:
- 3到5族半导体层
- 蓝色发光二极管
- 激光二极管
- 紫外-可见光谱光电中的氮化铟纳米棒
- 3D或2D材料中的二硫化钼、氮化硼、石墨烯
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