合金炉，高真空炉，负压炉，高温炉

BXCEN-9800高真空合金炉适用工艺： 主要用于电力电子器件、大规模集成电路、二极管光电等行业，在高温、真空环境下对器件进行真空合金、真空扩散、烧结、退火等工艺 设备参数 合金炉工作温度：0-1200℃ 合金炉单点温度控制精度：≤±1.5℃/24h 合金炉恒温区长度：200-800mm 合金炉升温功率：≤17KW 合金炉升温速率：0-1200℃，约150min（可选程序控制，以更改升温速率及保温时间） 保温功率：＜10KW 合金炉工作方式：单工位/双工位/三工位（可选） 合金炉取料方式：手动进出料/自动进出料（可选） 合金炉冷态真空度：5.9×10-4Pa 合金炉真空室内径：Φ150-Φ200mm 真空室材质：石英/不锈钢 高真空阀、低真空阀：自动/手动 充气阀：自动/手动 合金炉真空泵：旋片泵/旋片泵+扩散泵/旋片泵+罗茨泵+扩散泵/旋片泵+分子泵 合金炉真空室冷却形式：风冷（真空室自动与加热室分离） 总重量：约1000Kg 合金炉外型尺寸：长3500×高1600×宽800 炉体自动移动速度：0-400mm/min(可调） 合金炉运行方式：全自动/半自动/手动（可选）