产品描述

PK1H100-030U系列X向压电扫描台是采用压电陶瓷驱动的一维并联压电纳米定位扫描台，压电扫描台内部使用无摩擦及空回的柔性铰链并联导向机构，柔性导向系统具有超高的导向精度，且具有柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。

压电扫描台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，确保了压电扫描台具有极佳的运动控制精度，定位精度、分辨率和稳定性。

压电扫描台内部采用并联式结构设计，结构紧凑，所有促动器作用在同一个移动台面上，可同时实现多轴运动且每轴具有相同的动态性。具有更轻的质量，更低的惯量和更高的动态性。中空式设计，且中央通孔较大，可更好的适用于显微及扫描系统中。

产品特性

— X位移：30μm（闭环）

— 中孔尺寸：50mmx50mm

— 并联直驱结构设计

— 超快响应时间、超高动态应用

选配功能

— 可定制转接装置、可定制中心孔径大小

— 可选PZT&Sensor连接器及线缆长度

— 可选配闭环(SGS) 位置反馈系

— 可选配XY轴运动

应用领域

— 扫描显微镜

— 超分辨率显微镜

— 掩模、晶圆定位

— 干涉测量、测量技术

— 显微纳米操纵