厂商 ：上海熠恒能源设备有限公司
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- 销售进口空压机
- 德国CS仪器仪表
- 干燥机
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商品详细描述
MICHELL 半导体行业低露点传感器
亮点
应用
? 测量范围低可达-120°Cdp (1ppbV)
?
高纯气
? 稳定而可重复的测量
?
半导体制造
? 模拟和数字输出
?
光纤生产
?
安装简单
?
电子元件制造
?
VCR 过程连接
快速响应
高纯气体微量露点变送器
在许多高纯气体的应用中，如半导体行业，气体的残留水分
对于工艺操作的影响是至关重要。
根据以往的经验，微量水分测量一直是一个难题，这需要
使用复杂或昂贵的分析仪测量。现在，密析尔推出了一款
简单、经济的产品，可以在线测量露点达-120°C （小于
1ppb）。
Pura 露点变送器的优势在于密析尔阻抗传感器生产和校准
的经验和专长。工业标准材料和制造工艺结合的低成本变送
器，适用于大规模集成半导体制造厂或高纯气体管线中。
使用简单
这种独立的变送器设计成可无缝接入纯气的过程应用
中，并可提供可靠的测量结果。
Pura 的传感器外壳是由冷拉不锈钢制成，内部采用 0.25Ra
μm 电抛光技术 ，以达到小的吸湿性，洁净度达到清洁室
标准。
该变送器交付完整的校准和操作，并提供 4-20mA 的校准输
出，能够连接到密析尔的显示模块或中央控制系统。
该产品的设计具有小的内部结构。这确保了过程应用中快
的响应速度，也保证了湿度测量时的快响应速度。传感器密
封垫圈可以在小压力 10-9torr 内工作，同
服务与校准
密析尔为想要少停机时间和设备可追溯性的用户提供以下两
种服务：
传感器替换 –用户可以签订一个有保障的合同，可以更换
传感器。当传感器出现问题时，可以把更换下来的传感器
返回密析尔检测，从而实现零停机时间。
校准 – 用户将传感器返回密析尔，密析尔会对返回的传感
器进行检查和校准。这样为过程中的传感器就可以实现可追
溯性。
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