AE直流电源

美国AE直流电源维修MDX-5K射频电源维修 北京天浦正达AE直流电源维修中心可维修故障范围包括: 无输出,烧保险,开不了机,面板无显示修,启动无输出,输出电压不正常,带不了负载,模块坏等 AE直流电源维修 ,AE控制器维修,AE电源不工作维修,AE电源控制器维修,AE电源控制箱维修,AE射频电源维修,美国AE射频电源维修,各种电源仪器维修,提供检测,收费低,配件全。 AE MDX系列直流电源操作 前面板： AE MDX直流电源操作及接线说明 1）指示灯 Output Power a)Stop的指示灯亮时，表示电源已关闭 b)Start的指示灯亮时，表示电源已打开Regulation a)Power的指示灯亮时，表示电源处于功率模式，设定值是功率值 b)Current的指示灯亮时，表示电源处于电流模式，设定值是电流值 c)Power和Current的指示灯同时亮时，表示电源处于电压模式，设定值是电压值 d)Power和Current的指示灯同时闪时，表示电源处于未知模式Status a)Arc指示灯亮时，表示腔室内阻抗过低，输出电流过电源规定的大值 b)Setpoint指示灯亮时，表示电源的输出值已经达到设定值 c)Remote指示灯亮时，表示电源的开关或设置值处于远控模式 d)Output指示灯亮时，表示电源已经打开 e)Plama指示灯亮时，表示输出电流大于10mA f)Interlock指示灯亮时，表示互锁已经满足，若不满足，则该灯闪烁 Level键：用于设置电源参数 Display键：按改键可切换显示功率、电压或者电流 拨码开关 RAMP，0.1 Sec：开关置下时，表示电源输出从0到设定值的时间为0.1秒 RAMP，1.0 Sec：开关置下时，表示电源输出从0到设定值的时间为1.0秒 RAMP，10 Sec：开关置下时，表示电源输出从0到设定值的时间为10秒C HOLD：开关置下时，可缩短一次以后电源输出值达到设定值的时间ON/OFF：开关置上时，表示通过User Port来打开或者关闭电源，置下时，表示通过前面板打开或者关闭电源 AE电源维修常见型号系列： AE电源维修，美国MDX,MDXII,Pinnacle,Diamond系列AE电源维修，AE电镀电源维修，AE射频电源维修，电镀高频电源维修，刻蚀射频电源维修，RE射频电源维修，PECVD射频电源维修，大功率工业电源维修，UPS电源维修等各行业工业用电源维修 射频电源设备维修：刻蚀，RIE,PECVD,ICP,射频溅射，CVD和PVD等系统 AE CESAR 1330 射频电源维修 AE PEII-10K镀膜电源维修 AE射频电源RF-5S维修 AE射频电源RFG3000维修