卧式化学气相沉积炉（沉积炭）

产品描述： 卧式化学气相沉积炉（沉积炭）主要用于以碳氢气体（如C3H8、CH4等）为碳源的材料表面或基体的CVD/CVI处理 应用范围： 炭/炭刹车盘、炭炭板材、晶体炉坩埚、热压模具、高温发热体/紧固件、热场材料等 卧式化学气相沉积炉（沉积炭）技术特征 电阻炉可采用多温区独立控温，温度均匀性好； 采用智能压力调控，压力波动小； 全封闭沉积室，密封效果好，抗污染能力强； 多通道工艺气路，流程均匀，无沉积死角，沉积效果好； 多级高效尾气处理系统，环境友好，能高效收集焦油及副产物，易清理； 可选配外循环快冷系统，降温时间短，生产效率高； 卧式化学气相沉积炉（沉积炭）配置选择 结构形式：卧式-单开门/双开门；立式-上出料/下出料 炉门锁紧方式：手动/自动 炉壳材质：全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢 保温材质：碳毡/石墨毡/碳纤维固化毡/陶瓷纤维毡 加热器、马弗：石墨/CFC/金属 热电偶：K/N/C/S分度号 电源：KGPS/IGBT(仅适用于中频加热)