10万级洁净车间标准

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为了合理选择压力贮罐的几何容积，应考虑如下因素：增高充气压力，可减少单位贮气量的建设投资，但压缩气体所需的电费要增加；若贮罐主要用于较长期的贮备容量，可尽可能地提高充气压力，减少几何容积；在供气系统和用气设备允许的情况下，应尽可能地降低排气压力，减少贮罐的几何容积。在干管或支管的末端均应设有吹除管线及控制阀；对于特种气体的供应系统常常在储气瓶与用气设备之间设有吹扫控制装置、多阀门控制装置，用以控制各个阀门的开关顺序、系统吹除，以确保供气系统的、可靠运行和防止“死区”形成而滞留污染物，降低气体纯度。对高纯气体纯度要求不同的用气设备，宜采用分等级高纯气体输送系统；也可采用同等级输送系统，但在纯度要求高的用气设备邻近处设末端气体纯化装置，提纯到符合供气质量要求。

为了检测高纯气体的纯度和杂质含量，输送系统除了设置必要的连续检测仪器，如痕量水含量或痕量氧杂质含量等分析仪外，还应设置定期取样用的检测采样口，以便按规定时间进行采样，分析高纯气体中各种杂质的含量。高纯气体系统的配管材料应选用不锈钢316L电抛光（EP）管材；管道连接应采用环形对接焊或表面密封接头；阀门应采用隔膜阀、波纹管阀等。

高纯气体管路的材质、内表面处理和阀门等附件的选用应根据产品生产工艺对气体纯度、允许的杂质含量、微粒含量等的要求不同，采用相应质量的高纯气输送配管。采用不同材质或内表面处理方法不同的管路及附件，其使用效果相差甚远。材料的渗透性、吸附性和材料中的不纯物含量以及内表面粗糙度等的不同，均会影响高纯气体在输送管路中的输送质量，即使高纯气体在输送系统的始端已经达到规定的杂质含量、尘粒含量，若输送管路的材质和阀门选择不当或内表面处理方法不当，都将使输送管路的末端得不到符合要求的高纯气体质量；因为在输送过程中高纯气体收到粒子的渗透或杂质组分的渗漏或被吸附在内壁的粒子、杂质的释放或外部水分的污染，使高纯气体中的杂质含量、尘粒含量超过规定的标准而不能使用或引起产品成品率的降低。高纯气体输送配管的材质、内表面处理和阀门等附件至关重要。

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