吉时利6430电流测量静电计

6430亚fA程控源表集合了吉时利源表 和源测量单元（SMU）产品的电压源和电流 源及测量功能，比静电计灵敏度更高，噪 声更低，输入阻抗更高。这种独特的性能 是通过6430远端前置放大器实现的，它提 供非常灵敏的双向放大器，用于测量或产 生被测试器件的电流。远端前置放大器输 出的高电平信号通过一条2米长的线缆发 送到控制主机上。这使得用户可以直接， 或者近距离连接该信号，减少线缆噪声 的影响。

主要特点:

• 0.4fA p-p (4E-16A)噪声
• 远端前置放大器可以位于信号源处以减少线缆噪声
• 电压测量的输入阻抗>1016Ω
• 高速——达2000读数/秒
• 分辨率达6位半
• 快速元件特性分析，带可编程数字I/O和接口

6430按照静电计无法达到的速度测量 电压、电流与电阻。它可以每秒读取最多 2000源/测量读数，读入内部存储器中。 可以测量快速小电流，100nA量程可响应 短至5ms的信号，较大量程可响应几百微 秒的信号。

6430的独特特点包括其优秀的低电 流灵敏度和远端前置放大器，这通过避 免长输入线缆发挥了灵敏度的作用。远 端前置放大器是6430反馈测量系统的主 要部分，虽然通过长达2米，带载高电平 信号的连接线缆它能离开主机一段距离 但是它不能独立于测量主机工作。

应用

6430的功能使其同样适于在测试实 验室的研究工作和复杂元件的评估，结 合其它源测量仪器或SMU用于在较高电平 上进行低电流、高电阻或高灵敏度的半 导体测量。6430的低噪声和漂移性能也非 常适合高阻性纳米线和其它高阻纳米材 料的研究。

负载阻抗：稳定至20000pF在100mA至100μA量程，470pF在10μA和1μA量 程，以及100pF在nA和pA量程。查阅用户手册获取大电容性负载测量的 详细说明。
共模电压：±42VDC最大值。
共模隔离：>109Ω，<1000pF。
过量程：量程的105%，源和测量。
输入/输出与测量端子之间的最大压降：5V。（为满足规定的准确度用4线测 量，请参阅用户手册。）
测试线电阻最大值：10Ω，对于额定准确度。
测试输入电阻：1MΩ。
主机防护偏置电压：300μV，典型值。
前置放大器防护偏置电压：1mV典型值。
前置放大器防护输出电阻：110kΩ。
源输出模式：固定直流电平，内存列表（混合功能），阶梯波扫描（线性和 对数）。
源内存列表：100点（最大值）。
内存缓冲区：5,000个读数/秒@5位半（2个2,500点缓冲区）。包括所选的测 量值和时间戳。锂电池备份（电池寿命超过3年）。
数字接口：
安全互锁：有源低电平输入：
处理程序接口：测试开始，测试结束，3类比特。+5V@300mA电源。
数字I/O：1触发输入、4 TTL/继电器驱动输出（33V@500mA阱、二极管钳 位）。
可编程性：IEEE-488(SCPI-1995.0)，RS-232，5种用户定义的上电状态加上 出厂缺省设置和*RST。
电源：100V~240V有效值，50Hz~60Hz（上电时自动检测），100VA最大值。
EMC：符合欧盟指令89/336/EEC EN 55011，EN 50082-1，EN 61000-3-2和 61000-3-3，FCC第15部分Class B。
安全性：符合欧盟指令73/23/EEC EN 61010-1。
振动：MIL-PRF-28800F，Class 3。
预热时间：1小时达到额定准确度。
规格：89mm高×213mm宽×370mm深（3 1/2 in×8 3/8 in×14 9/16 in）。
测试台尺寸配置（带手柄和支脚）：104mm高×238mm宽×370mm深（4 1/8 in×9 3/8 in×14 9/16 in）。
放大器：20mm高×57mm宽×97mm深（0.783 in×2.225 in×3.75 in）。
重量：5.9公斤（13磅）。
工作环境：工作条件：0°~40°C，60%相对湿度（不凝结）至35°C。在 35°~40°C范围内，相对湿度降低5%/°C。存储条件：–25°C~65°C，不凝 结的湿度。