三菱锥压头

三菱锥压头，也称玻氏（Berkovich）压头，是纳米压痕技术中广泛使用的一种压头，呈三菱锥形状。

通过压头对材料表面加载，然后测出压痕区域，以此来评价材料机械性能的技术，我们称之为压痕技术。传统的压痕方法是采用一定形状的压头在一定压力的作用下压入被测样品，保持一段时间后卸载，然后用标尺或显微镜测出压头在材料表面留下的压痕半径或对角线长度，以此计算材料力学性能参数值，如硬度。这种测量方法直接、简单，但是分辨率较低，即使采用透射电子显微镜等高精度仪器也只能测得压深不小于10um情况下的硬度。而且此方法压痕尺度较大，不适于测试膜厚较小(<2 um )的薄膜材料的性能。

另外，此方法是先加载，后离线测量，这样得到的仅为材料的塑性性能。随着现代微电子材料科学的发展，试样尺寸越来越小型化，传统的压痕测试技术已经无法满足新材料的需要。此外，材料科学家们不仅要了解材料的塑性性质，而且需要掌握材料的弹性性质。

纳米压痕技术又称深度敏感压痕技术，它是通过计算机控制载荷连续变化，并在线监测压深量，由于施加的是超低载荷，加上监测传感器具有优于Inm的位移分辨率，所以可以获得小到纳米级(O.1nm~100nm)的压深，适用于超薄层材料性能的测试。