厂商 :深圳市邦得凌触控显示技术有限公司
广东 深圳市- 主营产品:
- 纳米银线光刻胶
- 感光银光刻胶
- 光刻胶
Brthrper-NP-900系列负型光刻胶
一种丙烯酸共聚物树脂型、近紫外线曝光的负型光刻胶
应用领域:
用于制造超厚(50-200um)和中厚(10-50um)MEMS微结构,以及普通膜厚(0.3-10u)的各种挖洞、字符等型貌的光刻线条;适合i、G线,X-Ray,E-beam曝光
深圳市邦得凌触控显示技术有限公司的Brthrper-NP-900系列负型光刻胶是一种丙烯酸共聚物树脂型、近紫外线曝光的光刻胶。
分别适用于制造超厚(50-200um)和中厚(10-50um)MEMS微结构,以及普通膜(0.3-10um)的各种挖洞、字符等型貌的光刻线条;适合i、G线,X-Ray,E-beam曝光。
具有好的热稳定性、抗刻蚀性、高分辨率、高深宽等特点。对近紫外350~400nm波段曝光为敏感。即使在非常厚的光刻胶曝光情况下,曝光均匀一致,可得到具有Profile垂直侧壁和的厚膜图形。
Brthrper-NP-900系列负型光刻胶的特性
1)厚度范围,单层涂胶厚度为 0.3um to 200 um
2)50um以上厚度光刻图型高深宽比可达:10:1
3)适用于旋涂工艺涂布,比自流平式后膜光刻胶工艺制程效率更高;
4)表面平整度高,50-100um膜厚在8吋晶元面积平均膜厚误差≤5%
5)可靠性高,后烘坚膜后可作为芯片倒封装以及chiplet封装支撑胶
应用:MEMS,激光芯片,钝化层应用LED微流倒封装以及光传感器干法蚀刻制作
其中,Brthrper-NP-901A用于制作0.3-10um厚度图型:
Brthrper-NP-931A用于制作10-50um厚度图型:

Brthrper-NP-901A光刻工艺参数推荐:
1.涂胶 500-1500rpm/10s
2.前烘 90℃/4min
3.曝光 150mj/cm2
4.显影 60s/27-30℃;显影液:1:99/AMPHBAL2001
5.后烘 120-200℃/30-60min
Brthrper-NP-931A光刻工艺参数推荐:
1.涂胶 800-3000rpm/10s
2.前烘 110℃/4min
3.曝光 200mj/cm2
4.显影 120s/27-30℃;显影液:1:99/AMPHBAL2001
5.后烘 180-230℃/30-60min
Brthrper-NP-951A光刻工艺参数推荐:
1.涂胶 3000-5000rpm/10s
2.前烘 110℃/4min
3.曝光 200mj/cm2
4.显影 150-180s/27-30℃;显影液:1:99/AMPHBAL2001
5.后烘 200-230℃/30-60min
成膜物化参数
序号 |
项目名称 |
指标 |
参考标准 |
1 |
透过率(400nm) |
98% |
230℃/1h |
2 |
坚膜铅笔硬度 |
2H |
三菱铅笔/750g |
3 |
粘度值 |
8.9~1000cp |
粘度仪 |
4 |
成膜均匀性 |
<3% |
9点法 |
5 |
温度耐受范围 |
-20~250℃ |
-- |
6 |
吸水率 |
1.5% |
100℃/2h |
7 |
表面电阻率 |
1.36*1016 Ω/cm2 |
四探针法 |
8 |
像素坡度 |
23~120° |
显微镜x50 |
9 |
介电常数 |
3.4 (>1014Ω/□) |
-- |
10 |
耐化学 |
浸泡1h膜完好 |
IPA、NMP、GBL |
11 |
百格刀测试 |
OK |
3M胶带 |
12 |
比重 |
1.03g/cm3 |
重量杯 |
三、包装及贮存
包装:3.8L洁净加仑桶,加不透光包装袋贮存:密封后于0-5摄氏度保存;贮运中避免日晒、雨淋、泄露
保质期:3个月
四、售后与服务
如接到使用方技术服务请求后48小时内,将用电话、传真、E-mail提供解决方案或派人前往协助解决。
公司地址:深圳市南山区科技园南区高新技术产业园区W1-A座4层A-06