负型光刻胶

厂商 :深圳市邦得凌触控显示技术有限公司

广东 深圳市
  • 主营产品:
  • 纳米银线光刻胶
  • 感光银光刻胶
  • 光刻胶
联系电话 :13164732710
商品详细描述

Brthrper-NP-900系列负型光刻胶

一种丙烯酸共聚物树脂型、近紫外线曝光的负型光刻胶


应用领域:

用于制造超厚(50-200um)和中厚(10-50um)MEMS微结构,以及普通膜厚(0.3-10u)的各种挖洞、字符等型貌的光刻线条;适合i、G线,X-Ray,E-beam曝光

深圳市邦得凌触控显示技术有限公司的Brthrper-NP-900系列负型光刻胶是一种丙烯酸共聚物树脂型、近紫外线曝光的光刻胶。

分别适用于制造超厚(50-200um)和中厚(10-50um)MEMS微结构,以及普通膜(0.3-10um)的各种挖洞、字符等型貌的光刻线条;适合i、G线,X-Ray,E-beam曝光。

具有好的热稳定性、抗刻蚀性、高分辨率、高深宽等特点。对近紫外350~400nm波段曝光为敏感。即使在非常厚的光刻胶曝光情况下,曝光均匀一致,可得到具有Profile垂直侧壁和的厚膜图形。


Brthrper-NP-900系列负型光刻胶的特性
1)厚度范围,单层涂胶厚度为 0.3um to 200 um
2)50um以上厚度光刻图型高深宽比可达:10:1
3)适用于旋涂工艺涂布,比自流平式后膜光刻胶工艺制程效率更高;
4)表面平整度高,50-100um膜厚在8吋晶元面积平均膜厚误差≤5%
5)可靠性高,后烘坚膜后可作为芯片倒封装以及chiplet封装支撑胶
应用:MEMS,激光芯片,钝化层应用LED微流倒封装以及光传感器干法蚀刻制作  

其中,Brthrper-NP-901A用于制作0.3-10um厚度图型:




 Brthrper-NP-931A用于制作10-50um厚度图型:



 Brthrper-NP-901A光刻工艺参数推荐:
1.涂胶 500-1500rpm/10s
2.前烘 90℃/4min
3.曝光 150mj/cm2     
4.显影 60s/27-30℃;显影液:1:99/AMPHBAL2001
5.后烘 120-200℃/30-60min

Brthrper-NP-931A光刻工艺参数推荐:
1.涂胶 800-3000rpm/10s
2.前烘 110℃/4min
3.曝光 200mj/cm2     
4.显影 120s/27-30℃;显影液:1:99/AMPHBAL2001
5.后烘 180-230℃/30-60min


Brthrper-NP-951A光刻工艺参数推荐:
1.涂胶 3000-5000rpm/10s
2.前烘 110℃/4min
3.曝光 200mj/cm2     
4.显影 150-180s/27-30℃;显影液:1:99/AMPHBAL2001
5.后烘 200-230℃/30-60min

成膜物化参

序号

项目名称

指标

参考标准

1

透过率(400nm)

98%

230/1h

2

坚膜铅笔硬度

2H

三菱铅笔/750g

3

粘度值

8.9~1000cp

粘度仪

4

成膜均匀性

<3%

9点法

5

温度耐受范围

-20~250

--

6

吸水率

1.5%

100/2h

7

表面电阻率

1.36*1016 Ω/cm2

四探针法

8

像素坡度

23~120°

显微镜x50

9

介电常数

3.4 >1014Ω/

--

10

耐化学

浸泡1h膜完好

IPANMPGBL

11

百格刀测试

OK

3M胶带

12

比重

1.03g/cm3

重量杯




















三、包装及贮存

包装:3.8L洁净加仑桶,加不透光包装袋
贮存:密封后于0-5摄氏度保存;贮运中避免日晒、雨淋、泄露
保质期:3个月 

四、售后与服务
如接到使用方技术服务请求后48小时内,将用电话、传真、E-mail提供解决方案或派人前往协助解决。
公司地址:深圳市南山区科技园南区高新技术产业园区W1-A座4层A-06

相关产品推荐