厂商 :成都沃特塞恩电子技术有限公司
四川 成都- 主营产品:
- 固态微波源
- 固态功率源
- 固态微波射频
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商品详细描述
产品参数
品牌:其他 型号:2450MHz 加工定制:是 机器类型:清洗机 用途:工业用 原理:其他 工作频率:2450MHz 功率:1.5kW
产品特点
沃特塞恩提供的固态微波远程等离子体源系统引进了德国前端的等离子体技术,主要由等离子体放电腔、高---效率固态微波源、微波传输及调配器组成。 因固态微波远程等离子体源的特殊结构,等离子体在反应区之外的等离子体放电腔中被激发,在保证高电离率与低重组率的同时,为用户提供高浓度、低温度、更均匀的活性自由基。有效的降低了电子、离子等高能活性离子对材料表面的轰击损伤,活性自由基对样品的作用占主导地位,有效控制反应均匀性,减少污染,是干法处理半导体材料的更优的方案。 产品特点: 采用全新技术的固态微波源,频率、功率稳定性高,使用寿命长,无需更换磁控管耗材 等离子体放电腔材质可选,可适用各种气体 体积小、集成度高、便于更换 独特的放电腔设计,负载匹配度高,反射功率小,低于1% 系统运行气压适应范围广 电离率高、电离速度快 应用范围: 前道及后道半导体生产工序中的去胶 前道及后道半导体生产工序中的刻蚀 柔性PCB卷对卷工艺制作中聚酰亚胺薄膜的刻蚀 材料表面处理
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固态微波源 固态功率源 固态微波射频
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