HANBELL汉钟

PS1302 HANBELL 汉钟干式螺旋泵主要点有：

1. 真空泵结构简单，组件少，故障率低。

2. 干式运转，制程气体与粉尘完全不会接触到真空油，因此能被顺利排出真空泵。

3. 真空泵真空油不与制成气体接触，不需更换真空油。

4. 采用水冷密封电机，电机温度低，电机寿命长。

5. 真空度佳，真空度可达4x10-4mbar。

6. 运转噪音低<70dBA。

7. 因为无磨擦组件，真空泵寿命长，转子与壳体不接触，运转效率高，消耗电流低。

真空泵浦 (Vacuum Pump)也可写为真空帮浦或是真空泵浦。汉钟PS系列干式螺旋真空泵浦乃是利用一对互相咬合的螺旋转子，在转子间维持微小的间隙，使得泵浦运转时腔体内无需润滑，因而无油气回漏污染的问题。透过转子线形良好的密封效果，压力可达7.5 × 10-3 Torr。螺旋式真空泵浦由于排气路径短，粉尘移除能力较其他型式的真空泵浦强，加上转子表面披覆特殊材质的镀膜，因此可适用于PECVD、Etching等制程。

干式螺旋真空泵浦 S／N型为无罩式的干式螺旋真空泵浦机型。

干式螺旋真空泵浦 S／N型的型号有：PS-80、PS-160、PS-180、PS-602、PS-902、PS-1302、PS-1802等。

干式真空泵浦 (Dry Vacuum Pump) 产品特点：

1. 泵浦 (Pump) 温度控制精准

干式螺旋真空泵浦，承袭上一代真空泵浦的转子设计，同时改善壳体的冷却方式，采用水套间接水冷的方式来降低壳体的温度，能够控制泵浦内部温度，减少沉积物的产生，增加泵浦 (Vacuum Pump)的寿命。

2. 微电脑控制保护周全

泵浦亦可配备微电脑控制器，可同时监控马达电流、马达温度、壳体温度、冷却水流量、氮气流量以及齿轮箱油位高低，适用于光电、半导体、太阳能与TFT-LCD等产业。

东莞市普莱德真空设备有限公司，位于广东省东莞市寮步镇，我司销售各类型真空泵、进口真空泵配件及进口真空泵保养与维修，工程师有十多年的工作经验，精通于各式进口真空泵维修，如：德国莱宝（Leybold);德国贝克（Becker);德国里其乐/伟力（Rietschle);德国普旭（Busch);日本爱发科（Ulvac);日本卡西亚玛（Kashiyama);日本荏原（EBARA);法国阿尔卡特（Alcatel);英国爱德华（Edwards)等。