P15

厂商 :哈尔滨芯明天科技有限公司

黑龙江 哈尔滨市
  • 主营产品:
  • 压电陶瓷
  • 压电陶瓷促动器
  • 纳米级精密定位台
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商品详细描述

P15 压电扫描台是快速、高精度的三轴扫描和纳米定位台,具有非常高的直线度。中心通孔 66×66mm,非常适于透射光应用,如近场扫描或共焦显微镜和掩模定位。P15 压电扫描台运动行程为300μm/ 轴,它的内部采用有限元分析(FEA)优化的线切割挠曲铰链结构。 FEA 使其设计具有尽可能高的刚度,并使线性和角度跳动最小化。

特点:

三维运动

行程范围为 300μm/ 轴

可选配闭环传感器

无摩擦、高精度挠性导向系统

扫描平整度高

通孔尺寸 66×66mm

技术参数:

尺寸图:


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