数码显微镜

主要特点 1.放大倍率范围 20–7,000X，可旋转式载物台。 2.可迅速切换物镜和六种观察方式 3.远心光学系统保证了在整个放大范围内的测量准确度。 ● 主要特点的细节 1.放大倍率范围 20–7,000X，可旋转式载物台。 DSX1000 数码显微镜新增了 5 个物镜，物镜总数达到 15 个。20-7,000X 的放大倍率范围实现了精观察，而长工作距离物镜则实现了对不规则样品的观察，例如电路板和机加工零件。显微镜头部和载物台都可以旋转 ± 90°，更易于观察和分析薄样品，如晶圆，或大型样品，如汽车部件。 20–7,000X 放大倍率下的晶圆图像对比 可调节的头部和载物台 显微镜头部和载物台可以分别旋转 ± 90°。 使用高分辨率长工作距离的物镜 长工作距离使用户能够观察不规则形状的电子基板。 2.可迅速切换物镜和六种观察方式 显微镜的电动变焦光路结合了先进的观察功能，可实现六种观察方法和对比度增强功能：明场、暗场、MIX、偏光、简易偏振和微分干涉。偏光观察和对比度增强功能可以突出样品表面的不规则和轮廓形貌。例如，此功能可用于在观察晶圆表面较大的不规则形状与细微破损和划痕之间快速切换。从而用户可以观察到使用其他方法难以检测到的对象。 太阳能电池图像对比 （左图：明场观察，右图：偏光观察） 单侧光线照射突出了表面的不规则形状。该项技术适用于观察不规则形状、扭曲的样品和槽口。 集成电路 (IC) 芯片图像对比 色彩清晰明亮的图像替代了明暗图像。 3.远心光学系统保证了在整个放大范围内的测量准确性。* 汽车制造商、精密设备和其他产品制造商必须准确测量和分析产品的规格，以证明产品的安全性。DSX1000 数码显微镜使用远心光学系统，在整个放大范围内图像失真极低，实现了有保证的准确度和重复性的高精度测量。为了确保准确度，在完成 DSX1000 显微镜的安装后，奥林巴斯的技术人员将根据客户使用环境对每台显微镜进行校准。 远心光学系统和非远心光学系统的图像采集对比图 改变聚焦位置不会改变图像大小。