质量流量控制器MFC

特性： 1、无需预热，即插即用 2、精度可达0.3% 3、实际气体标定 4、电子芯片无需零点校 采用标准化的信号，使与控制系统的连接更为简便 1. 测量结果对压力和温度的变化不敏感 2. 所有设备都用实际气体标定，保证了高精度和良好的再现性。 标定报告按照 METAS 标准（瑞士联邦计量办公室）可追踪 3.流量计和控制器易于检修和维护 4. 压损最小 5. 提供全系列配件:电缆、管接头等 6.精度可达：满量程的 ±0.3% + 读数的 ± 0.5% 7.质量流量设备精度高，动态量程大，有“标准版”和“高性能版”两种版本 8.精度可达：满量程的 ±0.3% + 读数的 ± 0.5% 9.量程比为 1 : 100 （可根据要求扩展量程比） 10.Profibus 接口（Profibus DP-V0/DP-V1）和 模拟接口 11.流量计和控制器采用先进的MEMS技术 量程 空气/全标度自由选择 机身尺寸??”?0 … 25 mln/min 至 0 … 60 ln/min (0 … 27 SCCM 至 0 … 64 SLPM) 机身尺寸??” 0 … 60 ln/min 至 0 … 450 ln/min (0 … 65 SLPM 至 0 … 480 SLPM) 仪器版本 “标准版” 经济型解决方案 精度：满量程的 ± 1.0%* 量程比： 1 : 50 “高性能版” 的精度和量程比 可用于 GSM <200 ln/min (200 SLPM) / GSC <150 ln/min (150 SLPM)（空气） 精度：满量程的 ± 0.3% + 读数的 ± 0.5% * 量程比： 1 : 100 *模拟信号可能会产生 ±0.25% 的误差 性能资料 介质（真实气体校准） 空气*, O2*, N2, He, Ar, CO2, H2, CH4, C3H8（要求的其他气体和混合气体） *O2 & N2 用空气校准 响应时间 流量计：50 ms; 控制器：150 ms 可重复性 精度：满量程的 ± 0.2% 长期稳定性 <测量值的1% / 年 电源 24 Vdc (18 – 30 Vdc), 15 Vdc，备询 消耗电流 流量计：值 100 mA; 控制器：值 250 mA 运行压力 0.2 – 11 bar (3 – 160 psia)?/?GSC 阀门型 4.5 和 8： 值 8 bara (120 psia) 温度（环境 / 气体） 0 – 50°C (32 – 122°F) 机身材料 阳极氧化铝，可选电抛光不锈钢 密封 FKM, NBR, 可选 EPDM 压力灵敏度 <读数的 0.2% / bar（一般是 N2） 温度灵敏度 0.025% 全标度量程类型 / 1°C (<0.012% / 1°F) 预热时间 全精度<1 秒 整合 & 安装 输出模拟信号 0-20 mA, 4-20 mA, 0-5 V, 1-5 V, 0-10 V, 2-10 V 输出数字信号 RS-485; Modbus RTU (Slae); LabView-有可视化界面 / 可选配：Profibus DP-V0, DP-V1 处理连接 G?” (BSPP* 母口 ) 达 60 ln/min (64 SLPM) G?” (BSPP* 母口) 达450 ln/min (480 SLPM) *英国并联管路标准 入口部分 无要求 电气连接 Sub D 插头9 针 安装方向 任意方向（水平方向仅限高于 5 bar） 安全性 测试压力 16 bara (240 psia) 泄漏率 <1 x 10-6 mbar l/s He 环境防护 IP50