13.56MHz射频等离子清洗机

产品说明 

本产品是本公司全新自主研发的桌面式射频等离子清洗机，工作频率为三个工业频率段：13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz，功率等级从100W-300W实现全系列覆盖，并且相配套的匹配器也采用全自动匹配器算法，大大简化人工调谐的复杂度；它可以成为您在科研、小批量试产中进行材料表面处理、更高效清洁的给力好帮手。 它采用304不锈钢腔体，容量高达5.3L；拥有直径100mm大尺寸可视窗口，让您对每一个工艺瞬间都能直观的了解；工作频率为13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz（每秒振荡次数最高可达4068万次），这是保证真空高效清洗的前提，通过试验发现清洗效果远远优于直流、中频等常规清洗机；它广泛应用于手机屏幕、仪表光学镜片等精密部件的高效清洗，也可用于材料表面的亲水性处理；总之，相信在您的研究下，这款产品定能为您的每一个新的工艺和配方展现它完美的表现，期待您的使用。 

 产品特点

 1)本产品在集成化和小型化方面具体很强的优势，相对于同等频率、功率、容量等条件下； 2) 采用7寸大尺寸触摸屏控制，轻松实现人机交互，减少复杂的机械按键和旋钮操作； 3) 面板仅保留一个电源开关，其他的控制全部交给触摸屏实现，简单易学、直观明了； 4)两路浮子流量计保证工艺气体要求的多样性； 5) 集成触摸屏控制真空泵、气路、破真空的开启和关闭； 6) 通过触摸屏可以任意设置射频功率、工艺时间、工作真空度，并具有设定参数记忆功能，避免重复性工作； 7) 内部集成自动匹配器，简化不同工艺条件下繁琐的匹配手动调节； 8) 内部集成数显真空计、功率计和定时器，实时监控真空度、功率值和工艺时间，让您对所有的工艺参数了如指掌； 9) 日期和24小时制时钟显示，提醒勤奋的您也要记得小憩片时； 10) 工艺处理完成后自动安全关闭所有部件并伴有声音报警，提醒您是时候开舱检验您的工艺效果了； 

 技术参数 

 产品型号?(RPC-1305) 

 主要部件 部件名称 参数指标 控制系统 集成触摸屏 7寸电阻触摸屏 等离子激发 电容耦合式（CCP） 工作时间 0-9999s（任意设定） 真空腔体 腔体容量 5.3L 腔体尺寸 内径：150mm; 长度：300mm 腔体材质 304不锈钢 舱门 铝合金舱门（配不锈钢铰链） 样品支架 铝合金筛板，厚度：3mm 射频源 信号频率 13.56MHz ±0.005% 功率范围 0-100W任意设定（功率等级200W/300W可选） 功率稳定度 ±0.1% 匹配器 匹配类型 全自动匹配 匹配时间 ≤3s 气路 气体测量 浮子流量计 气体通道 2通道 气体1量程 10～100ml 气体2量程 10～100ml 气路接头 外径：6mm气管 真空 真空测量 集成数显真空计 真空泵类型 双极旋片泵式 抽气速率 2L/s（4L/s可选） 极限真空度 0.067Pa 抽气接口 KF16-不锈钢波纹管 整机 整机功率 1kW 整机总尺寸 580(L) *715(D)* 240(H)mm；（其中舱门+拉手+接头：195mm； 防滑底座：10mm） 整机重量 24kg（不含真空泵及配件） 工作电压 220Vac 50/60Hz 工作环境 -10℃?-- 40℃ 冷却方式 强制风冷