晶圆烘箱

型号 Model HOC-WYH （单腔、双腔、四腔） HOC-WYH （单腔、双腔、四腔） HOC-WYH（台车式） 内尺寸 Lnterior W/D/H mm 610×610×610 710×610×560 710×610×910 外尺寸 Exterior W/D/H mm 1450×1130×1212（单腔） 1460×960×1790（双腔） 1380×900×1390 电源 Power 220V3? 60HZ 9KVA / 15KVA（单腔） 220V3? 60HZ 12KVA（双腔） 220V3? 60HZ 12KVA 温度范围 Temp.Controllr ＋60℃~Max300℃/ ＋60℃~250℃max 温度控制 Temp.Controller 自动PID控制，电子感应，数字显示 Digital Display and Automatic PID Control ±0.5% 温度系统 Contol System 输入用CA感应棒，输出以SSR无接头 lnput:CA Sensor Output:SSR 温度均匀度 Temp Uniformity 300℃±1.5% （空炉No-load） At175℃±1% （空炉No-load） At175℃±1.25% （空炉No-load） 升温时间 Riss Time ＋60℃~300℃ 45mins ＋60℃~250℃ 40mins 进气口 Inlet N2:100s(3.5kgf/cm2) Air? 8mm,N2 ? 6mm Air? 10mm,N2 ? 6mm 排气口 Outlet 最大3/8”（炉内） 3/8" max (inside the furnace) ?4” With Automatic Damper 材质 Materials 内中桶SUS304不锈钢板，外部SS41#钢板烤漆 ?Interior:Stainlss Steel ?Exterior:Steel with Baked Enamel?Rockwool lnsulation 电热 Heater 覆套式电热器 Sheathed Heater 安全装置 Safety Device 漏电断路器，超温防止保护装置，电热过电流保护装置，马达过热电流保护，机台异常蜂鸣器显示，三相逆相防止器，控制按键加防触盖 ?Leakage Circuit Breaker ?Over Temperature Protection?For Heater Overload ?Buzzer ?Phase Reversr ?For Motor Overload 标准配件 Standard Parts 流量计，圆孔盘 Flow Meter SUS 304#Perforated Tray 流量计，安全门锁，测试孔圆孔盘，资料袋 FlowMeter,Door LOCK, SUS304#Perforated Tray Test Hole 流量计，安全门锁，测试孔 圆孔盘，资料袋 FlowMeter,Door LOCK, SUS304#Perforated Tray Test Hole 选购品 Option 可程式温控器，记录器，六点温度显示器，自动启闭排风门，三色指示灯，台车及烘烤架 ?Recorder ?Programmable Temperature Controller ?Automatic Damper ?Light Tower ? Cart Sart Shelves