激光修阻机

　　我国正处于从制造大国向智能制造强国转变的关键时期，光制造的时代近在眼前。近年来激光产业不断发展，激光技术在工业制造领域集中于激光焊接、激光切割、激光弱化、激光打标、激光调阻以及激光再制造等应用。精密加工技术的发展随着时代的进步其加工精度也不断提高，目前已经进入到微纳米制造阶段，像激光调阻机设备，其重复定位精度已经实现1μm。 激光调阻机微调系统(激光调阻设备、激光调电阻设备)主要包括以下几个部分： (1)激光调阻机激光器部分 采用氪激励的高频Q开关、Nd:YAG激光器，厚膜修调最小光斑达38μm，脉冲重复频率为500Hz～50kHz。 (2)激光调阻机光束定位系统 分为线性马达式、开环和闭环检流计式等。控制光束在X和Y方向的位置、速度和加速度。缩短光束定位时间和修调时间，工作效率高。 (3)激光调阻机程控衰减系统 由多个衰减器组成，以控制在衰减后用于光束游动并进入红外相机的输出信号。 (4)激光调阻机修调设定器 它直接与激光器、光束定位器、分步重复台及测量系统相联接。它可以通过程序改变Q频率、刻蚀尺寸和改变切割的修调方向，决定阻值变化，而不影响精度。另外，还具有自动 校正功能，在长期工作时可使修调设定值保持稳定。 5)激光调阻机阻值及电压测定装置 采用精密电桥和矩阵组合的测试无源网络，阻值测量精度可达0.02%，测量时间仅为5ms。这种设计可以防止外界干扰，且由于采用差动测量，自动消除偏离及极性转换，还可用来 测定有源电路修调时的直流电压。 (6)自动功率测量系统 激光器功率测量是利用限度的中断通过测量来测定。用微机控制螺形管驱动系统，激光束通过衰减器内的100%反射镜，射向热电偶器件，然后送到1个多量程功率计。