钟罩式晶体生长炉

本设备采用分体模块化设计，采用钟罩升降结构，炉盖炉体可单独升降打开，炉体，真空系统，电控系统分别模块化式设计，现场三大模块按照平面布置图拼接组合起来，不用每样都分别拆分组装，安装方便快捷，布局整洁大方。 ·主要技术参数 1.***高加热温度：  2000℃ 2.功率：  60Kw±10%单相整流 2.冷态极限真空度： ≤5×10E-3Pa 3.压升率： ≤2Pa/h 4.炉体尺寸：  Ф750×1000mm（直径×高） 5.测温系统：  热电偶 6.控温精度：  ±0.1℃，采用欧陆温控仪表 7.加热区：  一区 8.坩埚升降参数：位移行程 200mm慢速升降0.1-10mm/h（伺服控制）精度±0.01mm  快速升降50-200mm/min（伺服控制） 9·炉内充气压力： ≤0.05MPa 10·充放气系统： 两路（一路采用电磁阀充放气，一路预留充放气接口）