COOLVAC 全自动再生低温泵

COOLVAC iCL系列全自动再生低温泵

莱宝COOLVAC低温泵的工作范围10-3到≤10-11mbar（0.75 x 10-3到≤0.75 x 10-11托）属于

气体捕集泵。工作原理是将气态物质通过低温冷凝和低温捕集到泵内冷表面。为了能够获得高真空或超高真空，冷表面（低温板）必须冷却到足够低的温度。根据所用冷却系统的类型可以分为制冷机低温泵、 贮槽式低温泵和蒸发器低温泵。

莱宝公司生产用制冷机冷却低温泵。

客户得益

低温泵的优势：

- 所有气体都有高抽速

- 对水汽有极高的抽速

对于相同直径的高真空法兰，低温泵可以达到所有高真空泵MAX的抽速。

低温泵的优势2：

与气体传输泵（例如涡轮分子泵）相比，低温泵在真空侧没有任何机械活动

部件、润滑油或脂润滑部件。所以：- 10-3 至 ≤ 10-11 mbar (0.75 x 10-3 至

≤ 0.75 x 10-11 Torr).压强范围的无烃真空

- 对外部振动不敏感

其它优点：

- 与其他高真空泵相比更加紧凑（抽速大于1500 l x s-1）

- 仅启动和再生期间需要前级泵

- 利用计算机更容易对工艺和泵进行控制

- 性价比更高，使用成本更低，尤其是需要大抽速的应用

莱宝真空生产的低温泵采用本厂生产的COOLPOWER双级冷头冷却（Gifford/McMa hon原理）。

有关COOLVAC系列低温泵的设计，请见以下示意图的内容。

一级冷头（9）冷却热辐射防护屏和低温泵的障板（6）。

根据泵的型号和工作条件不同，达到45到80K的工作温度，水蒸汽在这里冷凝。

热辐射防护屏和障板为铜质，它们能很好地传递热量，从而优化制冷容量。

另外，热辐射防护屏经过抛光，将反射损失降到尽可能小。二级冷头（7）用于冷却冷伞（8）。

根据工作条件，达到 10到 20 K的工作温度。氮气、氧气和氩气在这里低温冷凝。冷伞采用高导热铜材与二级冷头紧密相连。氢气、氖气和氦 气被吸附到冷伞上面部分覆盖活性炭上。

COOLVAC制冷机低温泵

COOVAC系列的所有低温泵都配有安全阀（UHV型带有爆 破膜），安全阀由工厂设置，过压150mbar（113托）时打开。

为了保证在安全阀动作时，安全地排出可能影响健康的气体，安全阀另配有一个 DN 40 KF 法兰，上面可以连接一条排气管线。

低温泵的再生

低温泵工作的一个重要方面是再生。由于低温泵属于气体捕集泵，所以被抽气体都蓄积在泵内，饱和后必须泵排出。

具体操作方法是关闭压缩机并加热低温区到室温或略高的温度，由前级真空泵将释放的气体排出。

非电控再生系统的低温泵这种低温泵通过向泵内吹扫干燥、预热的惰性气体（例如氮气）加热低温区到室温。此情况下，由于低温泵内不可能有确定的和受控制的温度，所以无法排除氢气和氧气同时存在的情况。只有通过干燥惰性气体的稀释作用来防止可燃混合气的形成。

多台低温泵组合操作

由于莱宝真空的压缩机COOLPAK 6000HD功能强大，可以同时驱动两个以上冷头或低温泵。

客户得益

- 极大的降低投资和操作成本

- 占地面积小

莱宝真空全自动加热再生低温泵

低温泵通过电加热器将一级和二级冷头加温到室温。此类情况下，低温泵内可以达到确定和受控制的温度分布。这个受控制的加温过程保证了气体被连续排出，也就是按以下顺序气体一个接一个

被释放：

-　吸附在冷伞上的气体（例如氢气、　 氦 气、氖气）

-　冷凝在冷伞上的气体（例如氮气、　 氧气、氩气）

-　冷凝在障板和热辐射防护屏上的气　 体和蒸汽（例如水蒸汽）

莱宝真空采用的这种电加热再生方法能够防止氢气和氧气之类的气体在泵内同时存在，从根本上排除了可燃混合气形成的可能。

加温过程为全自动，泵内的压强和温度分布，始终由控制系统确定和控制，从而保证莱宝真空低温泵再生期间较大限度的安全。

莱宝真空的低温泵分自然再生（BL）和全自动加热再生（iCL）两个系列：

1. COOLVAC ClassicLine（COOLVACiCL），单品以对氮气抽速命名（单位l/s），如COOLVAC 1500 iCL对氮气的抽速为1500l/s。可提供从1500到60000l/s的全系列产

品。

在报价清单上，泵名称带有符号“V”的：“V”表示高真空接口位于上端，冷头在下面，例如COOLVAC 1500 iCL-V、DN 200 CF。

2. COOLVAC BaseLine的命名规则相同，可提供从1500到60000l/s的全系列产品。

3.　特殊低温泵

莱宝真空可以根据客户要求提供特制低温泵，如为航天环境模拟应用提供大口径液氮辅助制冷低温泵CV30000BLN2和CV60000BLN2，详细信息请垂询深圳高志自动机电有限公司。

典型应用

- 蒸发器

- 溅射系统

- 离子注入机

- 光学镀膜机

技术参数						COOLVAC
			5000 iCL					10000iCL
高真空（HV）法兰			DN		400 ISO-K			500 ISO-K
前级真空法兰			DN		40 KF			40 KF
连接真空计的法兰			DN		16 KF			16 KF
电气连接法兰			DN		40 KF			40 KF
带排气管接头的 DN 40 KF法兰的安全阀			DN		40 KF			40 KF
４针穿通密封接口（连接测温硅二级管）			DN		16 KF			16 KF
加热器一级 二级			W V ACW V AC		160 42 90 42			160 42 90 42
温度传感器一级二级					Pt100硅二级管			Pt100硅二级管
内置冷头			COOLPOWER		5/100			5/100
重量			kg (lbs)		42 (92 7)			50 (110 4)
到T2	= 20 K的冷却时间		min		100			150
切入阈值			mbar x l (Torr x l)		700 (525)			800 (600)
抽速水汽 氩气/氮气 氢气			l x s-1l x s-1l x s-1		18000 4000 / 5200 6200			30000 8400 / 10000 10000
容量氩气/氮气 10-6 mbar时氢气			bar x l bar x l		3000 / 3000 32			5500 / 5500 45
气载量氩气/氮气 氢气		mbar x l x s-1 (Torr x l x s-1)mbar x l x s-1 (Torr x l x s-1)			10 (7 5) / 10 (7 5) 7(5 3)		10 (7 5) / 10 (7 5) 7 (5 3)
氦接口 （自密封接头：外螺纹，5400-S2-8型）				DN	1/2"		1/2

技术参数                                       COOLVAC

                                                              1500 iCL            2000iCL                     3000iCL

高真空（HV）法兰			DN		200 ISO-K / 200 CF / 6" ANSI	250 ISO-K / 250 CF / 8	ANSI	320 ISO-K / 10	ANSI
前级真空法兰			DN		25 KF	25 KF		25 KF
连接真空计的法兰			DN		16 KF	16 KF		16 KF
电气连接法兰			DN		16 KF	16 CF		16 CF
带排气管接头的 DN 40 KF法兰的安全阀			DN		40 KF	40 KF		40 KF
４针穿通密封接口（连接测温硅二级管）			DN		16 KF	16 KF		16 KF
加热器一级 二级			W V ACW V AC		160 42 90 42	160 42 90 42		160 42 90 42
温度传感器一级二级					Pt100 硅二级管	Pt100 硅二级管		Pt100硅二级管
内置冷头			COOLPOWER		7/25	7/25		7/25
重量			kg (lbs)		25 (55 2)	25 (55 2)		35 (77 3)
到T2	= 20 K的冷却时间		min		60	70		80
切入阈值			mbar x l (Torr x l)		210 (157)	250 (187)		500 (375)
抽速水汽 氩气/氮气 氢气			l x s-1l x s-1l x s-1		4600 1200 / 1500 2500	7000 1600 / 2100 3200		10500 2500 / 3000 6000
容量氩气/氮气 10-6 mbar时氢气			bar x l bar x l		1000 / 1000 12 0	1600 / 1600 15		2500 / 2500 28
气载量氩气/氮气 氢气		mbar x l x s-1 (Torr x l x s-1)mbar x l x s-1(Torr x l x s-1)			12 (9) / 12 (9) 6 (4 5)	12 (9) / 12 (9) 6 (4 5)		15 (11 2) / 15 (11 2) 10 (7   5)
氦接口 （自密封接头：外螺纹，5400-S2-8型）				DN	1/2"	1/2		1/2

自1972年发展至今,深圳高志自动机电有限公司(自动工程有限公司)已成为一间享负盛名的真空泵、压缩机、鼓风机、气动马达、真空系统及各类气动配件的供应商。
深圳高志自动机电有限公司华西办专业从事世界各知名品牌的销售；如美国WALKERS、德国BECKER、德国LEYBOLD、美国GAST、日本FUJI及日本ANLET等，亦特别为客户量身订做之一系列高质素及精心研制的系统,其中包括中央真空系统。这些品牌在气动技术领域皆处於全球性领导地位 , 其产品广泛地应用於电子、医疗、化学、食品包装、印刷、鞋类机械制造、金属洗濯、塑胶真空脱泡、污水处理等行业。本公司同时供应不同国家的气动配件,如美国的ALLENAIR 、英国的MAXAM 、台湾的MINDMAN 及日本的HORI等。除产品销售外,本公司也提供相关配件及维修保养和技术支援等服务。为能对客户提供最快捷的服务,本公司已在中国国内数个主要城市开设有服务点,其中包括深圳、无锡、成都、广州、上海、天津及济南等。从事气动行业超过30年,自动工程有限公司无论在提供优质服务及技术支援等方面都能满足客户之要求,并因此确立了其在行业上之领导地位及声誉。
我公司提供真空泵，气动马达，漩涡风机，螺杆真空泵，无油活塞泵，水环泵，中央真空系统，品牌包括WALKERS,Agilent ,BUSCH，GAST，FUJI，BECKER, Oerlikon LEYBOLD, Rietschle Thomas，Pfeiffer Vacuum， Edwards Vacuum ，KAWAKE,SULLAIR,ST等
自1972年发展至今，深圳高志自动机电有限公司(自动工程有限公司)已成为一间享负盛名的真空泵、压缩机、鼓风机、气动马达、真空系统及各类配件的供货商。
本公司专业从事世界知名品牌的销售，如

美国的威斯（WALKERS）
德国的莱宝 ( OERLIKON LEYBOLD )、
美国的泰悉尔/凱尼 ( TUTHILL / KINNEY )、
美国的嘉仕达 ( GAST )、

美国的安捷伦（Agilent）
丹麦的JUN-AIR、
德国的寿力 ( SULLAIR )、
德国的贝克 ( BECKER )、
韩国的KOWEL、

英国的 Allenair
日本的富士 ( FUJI ) 、
日本的HORI
香港的是高的 ( ScoreTech )等，
亦特别为客户量身订做之一系列高质素及精心研制的系统,其中包括中央真空系统。这些品牌在真空技术领域皆处于全球性领导地位，其产品广泛地应用于电子、医疗、化学、食品包装、印刷、滤油、仪器、覆模、鞋类机械制造、金属洗濯、塑料真空脱泡、污水处理等行业。

除产品销售外，本公司也提供相关配件及维修保养、系统工程和技术支持等服务。为能对客户提供最快捷的服务,本公司已在中国数个主要城市开设销售及维修服务办事处，其中包括深圳、广州、成都、重庆、合肥、上海、天津及沈阳。从事真空行业超过30年，自动工程有限公司无论在提供优质优化服务及技术支持等方面都能满足客户之要求，并因此确立了其在行业上之领导地位及声誉。