集成磁悬浮复合分子泵

厂商 ：深圳高志自动机电有限公司成都部

广东 深圳市
  • 主营产品：
  • 美国GAST真空泵
  • JUN-AIR空压机
  • Agilent真空泵
联系电话 ：18922857887
商品详细描述


W1700/2200/2201iP(L) TURBOVAC MAG INTEGRA集成磁悬浮复合分子泵





典型应用

- PVD镀膜系统

- 建筑玻璃镀膜

- 光学镀膜

- 液晶显示器

- 平板显示

- 科研

- 分析领域


技术特点

- 任意方向安装

- DN 200和/或250 ，在ISO-F和/或CF

高真空接口

- DN 40 KF前级真空接口

- 保护气/破空接口DN 16 KF（卡簧

式）

MAG INTEGRA 系列产品

MAG INTEGRA – 集成磁悬浮复合分子泵

- 水冷

- CE和RoHS认证：满足UL要求

- 防护等级IP 54

- 两个工业通信模块卡接口

- RS 232，维护接口

- 可以安装其它接口：Profibus、RS

485 C，9针24 V SPS


客户得益

- 抽速和气载量较高

- 可靠、耐用

- 免维护

- 适合用于分析、薄膜技术、电子显

微镜、科研领域等对振动敏感的应

用场合

- 由于采用模块化设计具有灵活性，

变频器可以安装在一侧或下面

技术参数                                TURBOVAC MAG INTEGRA W

                                                        1700 iP(L)        2200/2201 iP(L)             

进气口法兰

DN

250 ISO-F

250 ISO-F



250 CF

250 CF

抽速




氮气

I x s-1

1610

2100

氩气

I x s-1

1480

1900

氦 气

I x s-1

1710

2050

氢气

I x s-1

1660

1750

转速

min-1

33 000

30 600/30000

可调待机转速

min-1

13 800 (230 Hz)

13 800 (230 Hz)

压缩比




氮气


> 108

> 108

氩气


> 108

> 108

氢气，1 sccm时


2 0 x 105

5 x 104/5 x 103

氦 气，1 sccm时


4 0 x 103

5 x 103/5 x 102

气载量




氮气，短暂，例如抽出中





mbar x I x s-1

30

30/50

氮气，连续使用





mbar x I x s-1

20

17/36

氩气，短暂，例如抽出中





mbar x I x s-1

20

20/30

氩气，连续使用





mbar x I x s-1

15

12/24

极限压强




ISO-F法兰

mbar

< 10-8

< 10-8

CF法兰

mbar

< 10-10

< 10-10

高除气温度

°C

80

80

前级耐压




氮气

mbar

4

2 5/1 2

氩气

mbar

0 6

2 5/1 2

推荐的前级泵

TRIVAC B或干泵


加速时间

min

< 7

<10

前级管道法兰

DN

40 KF

40 KF

吹扫/破空端口(夹链式)  

DN

16 KF

16 KF

水冷接口尺寸

G

1/8"

1/8"

重量

kg

45

50

执行ISO 3744标准的噪声级

dB(A)

< 41

< 41

速度时高真空法兰处的振动值

μm

0 01

0 01





自1972年发展至今,深圳高志自动机电有限公司(自动工程有限公司)已成为一间享负盛名的真空泵、压缩机、鼓风机、气动马达、真空系统及各类气动配件的供应商。
深圳高志自动机电有限公司华西办专业从事世界各知名品牌的销售；如美国WALKERS、德国BECKER、德国LEYBOLD、美国GAST、日本FUJI及日本ANLET等，亦特别为客户量身订做之一系列高质素及精心研制的系统,其中包括中央真空系统。这些品牌在气动技术领域皆处於全球性领导地位 , 其产品广泛地应用於电子、医疗、化学、食品包装、印刷、鞋类机械制造、金属洗濯、塑胶真空脱泡、污水处理等行业。本公司同时供应不同国家的气动配件,如美国的ALLENAIR 、英国的MAXAM 、台湾的MINDMAN 及日本的HORI等。除产品销售外,本公司也提供相关配件及维修保养和技术支援等服务。为能对客户提供最快捷的服务,本公司已在中国国内数个主要城市开设有服务点,其中包括深圳、无锡、成都、广州、上海、天津及济南等。从事气动行业超过30年,自动工程有限公司无论在提供优质服务及技术支援等方面都能满足客户之要求,并因此确立了其在行业上之领导地位及声誉。
我公司提供真空泵，气动马达，漩涡风机，螺杆真空泵，无油活塞泵，水环泵，中央真空系统，品牌包括WALKERS,Agilent ,BUSCH，GAST，FUJI，BECKER, Oerlikon LEYBOLD, Rietschle Thomas，Pfeiffer Vacuum， Edwards Vacuum ，KAWAKE,SULLAIR,ST等
自1972年发展至今，深圳高志自动机电有限公司(自动工程有限公司)已成为一间享负盛名的真空泵、压缩机、鼓风机、气动马达、真空系统及各类配件的供货商。
本公司专业从事世界知名品牌的销售，如

美国的威斯（WALKERS）
德国的莱宝 ( OERLIKON LEYBOLD )、
美国的泰悉尔/凱尼 ( TUTHILL / KINNEY )、
美国的嘉仕达 ( GAST )、

美国的安捷伦（Agilent）
丹麦的JUN-AIR、
德国的寿力 ( SULLAIR )、
德国的贝克 ( BECKER )、
韩国的KOWEL、

英国的 Allenair
日本的富士 ( FUJI ) 、
日本的HORI
香港的是高的 ( ScoreTech )等，
亦特别为客户量身订做之一系列高质素及精心研制的系统,其中包括中央真空系统。这些品牌在真空技术领域皆处于全球性领导地位，其产品广泛地应用于电子、医疗、化学、食品包装、印刷、滤油、仪器、覆模、鞋类机械制造、金属洗濯、塑料真空脱泡、污水处理等行业。

除产品销售外，本公司也提供相关配件及维修保养、系统工程和技术支持等服务。为能对客户提供最快捷的服务,本公司已在中国数个主要城市开设销售及维修服务办事处，其中包括深圳、广州、成都、重庆、合肥、上海、天津及沈阳。从事真空行业超过30年，自动工程有限公司无论在提供优质优化服务及技术支持等方面都能满足客户之要求，并因此确立了其在行业上之领导地位及声誉。


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