磁悬浮复合分子泵

厂商 ：深圳高志自动机电有限公司成都部

广东 深圳市
  • 主营产品：
  • 美国GAST真空泵
  • JUN-AIR空压机
  • Agilent真空泵
联系电话 ：18922857887
商品详细描述

TURBOVAC MAG W 830/1300 C W 1500 CT

W 2000 C/CT W 2200 C W 2800/3200 (C/CT)




典型应用

- 半导体工业，诸如蚀刻、CVD、PVD和离子注入之类的所有主要半导体工艺

- 进样室，转移室

- 粒子加速器

- 科研

- 镀膜系统


技术特点

- 主动定位五轴磁悬浮轴承系统

- 轴承系统的数字监控

- 噪声和振动低

- 任意方向安装

- 先进的转子设计，实现高抽速和高前级耐压

- 智能电源控制系统

- CT版集成温度管理系统（TMS）

- C版耐腐蚀


客户得益

- 免维护

- 所有工艺气体都有高气载量

- 极限低，抽速高

- 前级耐压高

- 同类中重量较轻，尺寸较小

- 耐粉尘

- 温控达 90 °C (194 °F)，避免沉积物

（CT版）

- 高耐腐蚀性-CT版

- 气体吹扫系统

技术参数



TURBOVAC MAG



W 830

W 830 C

W 1300

W 1300 C

进气口法兰

DN

160 CF


160 ISO-F


200 CF

200 ISO-F

250 ISO-F

抽速









氮气

I x s-1

900


700


1170

1100

1220

氩气

I x s-1

750


650


1100

1050

1180

氦 气

I x s-1

900


500


1150

1100

1200

氢气

I x s-1

740


350


920

920

1020

转速

min-1

36 000


24 000


36 000

36 000

36 000

压缩比









氮气


1 5 x 108


> 5 x 107


1 5 x 108

> 108

> 108

DIN 28 400的极限压强










mbar

< 1 x 10-10


< 10-8


< 1 x 10-10

< 10-8

< 10-8


(Torr)

(< 0 75 x 10-10)


(< 0 75 x 10-8)

(< 0 75 x 10-10)

(< 0 75 x 10-8)

(< 0 75 x 10-8)

前级耐压，氮气








对流冷却 水冷却

mbar (Torr)mbar (Torr)

0 2 (0 15) 2 0 (1 5)


–   2 0 (1 5)

0 2 (0 15) 2 0 (1 5)

–   2 0 (1 5)

–   2 0 (1 5)

推荐的前级泵








旋片泵


TRIVAC


TRIVAC

TRIVAC

TRIVAC

TRIVAC

或抽速达100 m3/h的干压缩泵

D 65 BCS


D 65 BCS

D 65 BCS

D 65 BCS

D 65 BCS

加速时间

min

< 6


< 4

< 6

< 6

< 6

前级管道法兰

DN

40 ISO-KF


40 ISO-KF

40 ISO-KF

40 ISO-KF

40 ISO-KF

保护气/破空端口

DN

10 ISO-KF/ 16 ISO-KF


10 ISO-KF/ 16 ISO-KF

10 ISO-KF/ 16 ISO-KF

10 ISO-KF/ 16 ISO-KF

10 ISO-KF/ 16 ISO-KF

水冷接口尺寸








(管子外径)  

mm (in )

1/4"


1/4"

1/4"

6

6

重量

kg (lbs)

35 (77 3)


32 (70 6)

35 (77 3)

32 (70 6)

32 (70 6)


技术参数 TURBOVAC MAG   W 1500 CT

进气口

DN

200 ISO-F

250 ISO-F

200 CF

PNEUROP的抽速





氮气

I x s-1

1100

1220

1100

氩气

I x s-1

1050

1180

1050

氦 气

I x s-1

1100

1200

1100

氢气

I x s-1

920

1020

920

额定转速

min-1

36 000

36 000

36 000

压缩比





氮气


> 108

> 108

> 108

极限压强，根据 DIN 28 400 






mbar (Torr)

< 10-8 (< 0 75 x 10-8)

< 10-8 (< 0 75 x 10-8)

< 10-10 (< 0 75 10-10)

前级耐压（对氮气）

mbar (Torr)

2 6 (1 95)

2 6 (1 95)

2 6 (1 95)

推荐的前级泵





抽速达100m3/h的旋片泵或干泵

TRIVAC D 65 BCS

TRIVAC D 65 BCS

TRIVAC D 65 BCS

启动时间





达95%名义转度时

min

< 6

< 6

< 6

出气口外形尺寸

DN

40 ISO-KF

40 ISO-KF

40 ISO-KF

吹扫和破空口

VCR

1/4"

1/4"

1/4"

冷却水接口





（管道外径）

mm (in )

6 4 (0 25)

6 4 (0 25)

6 4 (0 25)

重量（近似）

kg (lbs)

32 (70 6)


32 (70 6)

32 (70 6)

技术参数

TURBOVAC MAG



W 2200 C/CT

W 2200

进气口

DN

200 ISO-F

250 ISO-F


250 CF

PNEUROP的抽速氮气 氩气 氦 气 氢气

I x s-1I x s-1I x s-1I x s-1

1600 1450 1780 1720

2000 1900 1980 1930


1800 1700 1980 1930

额定转速

min-1

29 400

29 400


29 400

压缩比氮气


> 1 x 108

> 1 x 108


1 x 108

极限压强，根据 DIN 28 400

mbar (Torr)

< 10-8 (< 0 75 x 10-8)

< 10-8 (< 0 75 x 10-8)

< 1 x 10-10 (< 0 75 x 10-10)

前级耐压（对氮气）对流冷却时 水冷却时

mbar (Torr)mbar (Torr)

–   2 (1 5)

–   2 (1 5)

0 1 (0 075) 1 (0 75)

推荐的前级泵抽速达100m3/h的旋片泵或干泵

TRIVAC D 65 BCS

TRIVAC D 65 BCS

TRIVAC D 65 BCS

启动时间达95%名义转度时

min

< 8

< 8

< 8

出气口外形尺寸

DN

40 ISO-KF

40 ISO-KF

40 ISO-KF

吹扫和破空口


1/4" VCR

1/4" VCR

DN 10/16

冷却水接口（管道外径）


1/2"

1/2"

Swagelok管1/4"  

重量（近似）

kg (lbs)

48 (106)

48 (106)

60 (132)


技术参数


TURBOVAC MAG



W 2800 C

W 2800 CT W   2800

W 3200 CT

进气口

DN

250 ISO-F


250 ISO-F

250 CF


320 ISO-F

PNEUROP的抽速








氮气

I x s-1

2650


2650

2650


3200

氩气

I x s-1

2450


2450

2450


3000

氦 气

I x s-1

2650


2650

2650


3000

氢气

I x s-1

2100


2100

2100


2250

额定转速

min-1

28 800


28 800

28 800


28 800

压缩比








氮气


1 x 108


1 x 108

1 x 109


1 x 108

极限压强，根据 DIN 28 400

mbar

< 10-8


< 10-8

< 1 x 10-10


< 10-8


(Torr)

(< 0 75 x 10-8)


(< 0 75 x 10-8)

(< 0 75 x 10-10)


(< 0 75 x 10-8)

前级耐压（对氮气）对流冷却时 水冷却时

mbar (Torr)mbar (Torr)

–   2 0 (1 5)


–   2 0 (1 5)

0 3 (0 23) 3 0 (2 3) 


–   2 0 (1 5)

推荐的前级泵








抽速达100 m3/h的旋片泵或干泵

TRIVAC D 65 BCS


TRIVAC D 65 BCS

TRIVAC D 65 BCS


TRIVAC D 65 BCS

启动时间

min

< 10


< 10

< 10


< 10

出气口外形尺寸

DN

40 ISO-KF


40 ISO-KF

40 ISO-KF


40 ISO-KF

吹扫和破空口


1/4" VCR


1/4" VCR

DN 10/16


1/4" VCR

冷却水接口

Swagelok tube

1/4"


1/4"

1/4"


1/4"

重量（近似）

kg (lbs)

64 (141 3)


64 (141 3)

75 (165 6)


65 (143 5)


自1972年发展至今,深圳高志自动机电有限公司(自动工程有限公司)已成为一间享负盛名的真空泵、压缩机、鼓风机、气动马达、真空系统及各类气动配件的供应商。
深圳高志自动机电有限公司华西办专业从事世界各知名品牌的销售；如美国WALKERS、德国BECKER、德国LEYBOLD、美国GAST、日本FUJI及日本ANLET等，亦特别为客户量身订做之一系列高质素及精心研制的系统,其中包括中央真空系统。这些品牌在气动技术领域皆处於全球性领导地位 , 其产品广泛地应用於电子、医疗、化学、食品包装、印刷、鞋类机械制造、金属洗濯、塑胶真空脱泡、污水处理等行业。本公司同时供应不同国家的气动配件,如美国的ALLENAIR 、英国的MAXAM 、台湾的MINDMAN 及日本的HORI等。除产品销售外,本公司也提供相关配件及维修保养和技术支援等服务。为能对客户提供最快捷的服务,本公司已在中国国内数个主要城市开设有服务点,其中包括深圳、无锡、成都、广州、上海、天津及济南等。从事气动行业超过30年,自动工程有限公司无论在提供优质服务及技术支援等方面都能满足客户之要求,并因此确立了其在行业上之领导地位及声誉。
我公司提供真空泵，气动马达，漩涡风机，螺杆真空泵，无油活塞泵，水环泵，中央真空系统，品牌包括WALKERS,Agilent ,BUSCH，GAST，FUJI，BECKER, Oerlikon LEYBOLD, Rietschle Thomas，Pfeiffer Vacuum， Edwards Vacuum ，KAWAKE,SULLAIR,ST等
自1972年发展至今，深圳高志自动机电有限公司(自动工程有限公司)已成为一间享负盛名的真空泵、压缩机、鼓风机、气动马达、真空系统及各类配件的供货商。
本公司专业从事世界知名品牌的销售，如

美国的威斯（WALKERS）
德国的莱宝 ( OERLIKON LEYBOLD )、
美国的泰悉尔/凱尼 ( TUTHILL / KINNEY )、
美国的嘉仕达 ( GAST )、

美国的安捷伦（Agilent）
丹麦的JUN-AIR、
德国的寿力 ( SULLAIR )、
德国的贝克 ( BECKER )、
韩国的KOWEL、

英国的 Allenair
日本的富士 ( FUJI ) 、
日本的HORI
香港的是高的 ( ScoreTech )等，
亦特别为客户量身订做之一系列高质素及精心研制的系统,其中包括中央真空系统。这些品牌在真空技术领域皆处于全球性领导地位，其产品广泛地应用于电子、医疗、化学、食品包装、印刷、滤油、仪器、覆模、鞋类机械制造、金属洗濯、塑料真空脱泡、污水处理等行业。

除产品销售外，本公司也提供相关配件及维修保养、系统工程和技术支持等服务。为能对客户提供最快捷的服务,本公司已在中国数个主要城市开设销售及维修服务办事处，其中包括深圳、广州、成都、重庆、合肥、上海、天津及沈阳。从事真空行业超过30年，自动工程有限公司无论在提供优质优化服务及技术支持等方面都能满足客户之要求，并因此确立了其在行业上之领导地位及声誉。

标签：
相关产品推荐