集成磁悬浮涡轮分子泵

厂商 ：深圳高志自动机电有限公司成都部

广东 深圳市
  • 主营产品：
  • 美国GAST真空泵
  • JUN-AIR空压机
  • Agilent真空泵
联系电话 ：18922857887
商品详细描述



W600/700P/iP TURBOVAC MAGiNTEGRA磁悬浮涡轮分子泵




TURBOVAC MAG 磁悬浮分子泵

TURBOVAC MAG系列

TURBOVAC MAG系列耐腐蚀磁悬浮分子泵，适用于从10-1 mbar(0.75 x 10-1Torr)至10-10 mbar(0.75 x 10-10 Torr)的压强范围。对空气的抽速从300 l x s-1(进气口法兰直径 = 100mm(3.94in.))至3200 l x s-1(进气口法兰直径 = 320mm(12.6in.))不等。

TURBOVAC MAG泵较常用于半导体工业，例如蚀刻、CVD、PVD和离子注入，也就是需要抽除腐蚀性气体的应用条件。


TURBOVAC MAGiNTEGRA系列

TURBOVAC MAGiNTEGRA系列磁悬浮分子泵是集现代真空科技之大成的新产品！

它设计精良，性能优异，可靠耐用是高真空应用的睿智选择。新的主动定位五轴磁悬浮技术与莱宝真空专有抗冲击设计相结合， 保证了TURBOVAC MAGiNTEGRA系列分子泵既保持了磁悬浮分子泵无磨损的优势又延续了莱宝分子泵耐冲击的一贯特性。

TURBOVAC MAGiNTEGRA系列分子泵适合短节拍大气载的应用，可帮助客户缩短工艺节拍，提高工作效率。非常适合电子显微镜，玻璃镀膜、工业和科研等应用。


TURBOVAC MAC产品线的优势是：

- 无碳氢化合物，可以实现清洁的高真空和超高真空条件；

- 任何安装方向都具有高性能

- 运行高度可靠

- 振动极低

- 防腐蚀版可以抽除腐蚀性气体

- 免维护


典型应用

- 气体分析系统

- 粒子加速器

- 电子显微镜

- 科研

- 镀膜设备


技术特点

- 任意方向安装

- ISO-K或CF高真空接口

- DN 16 ISO-KF，带卡簧式前级真空接口

- 保护气/破空接口DN 16 ISO-KF（卡簧式接口）

- 可选择水冷或风冷

- CE和RoHS认证：满足UL要求

- 标准9针24 V SPS，PLC接口

- RS 232 C，维护接口

- 可以安装其它接口:Profibus, RS 485 C


客户得益

- 尺寸可能较小，抽速较高

- 免维护

- 适合用于分析仪器、薄膜技术、电子显微镜、科研领域对振动敏感的应用场合

- 由于采用模块化设计具有灵活性；也可以提供台式变频器

- 两个工业通信模块卡接口







 技术参数                              TURBOVAC MAG INTEGRA W

                                                         1700 iP(L)      2200/2201 iP(L)             

进气口法兰

DN

250 ISO-F

250 ISO-F



250 CF

250 CF

抽速




氮气

I x s-1

1610

2100

氩气

I x s-1

1480

1900

氦 气

I x s-1

1710

2050

氢气

I x s-1

1660

1750

转速

min-1

33 000

30 600/30000

可调待机转速

min-1

13 800 (230 Hz)

13 800 (230 Hz)

压缩比




氮气


> 108

> 108

氩气


> 108

> 108

氢气，1 sccm时


2 0 x 105

5 x 104/5 x 103

氦 气，1 sccm时


4 0 x 103

5 x 103/5 x 102

气载量




氮气，短暂，例如抽出中





mbar x I x s-1

30

30/50

氮气，连续使用





mbar x I x s-1

20

17/36

氩气，短暂，例如抽出中





mbar x I x s-1

20

20/30

氩气，连续使用





mbar x I x s-1

15

12/24

极限压强




ISO-F法兰

mbar

< 10-8

< 10-8

CF法兰

mbar

< 10-10

< 10-10

高除气温度

°C

80

80

前级耐压




氮气

mbar

4

2 5/1 2

氩气

mbar

0 6

2 5/1 2

推荐的前级泵

TRIVAC B或干泵


加速时间

min

< 7

<10

前级管道法兰

DN

40 KF

40 KF

吹扫/破空端口(夹链式)  

DN

16 KF

16 KF

水冷接口尺寸

G

1/8"

1/8"

重量

kg

45

50

执行ISO 3744标准的噪声级

dB(A)

< 41

< 41

速度时高真空法兰处的振动值

μm

0 01

0 01


技术参数

                   TURBOVAC  MAG




W 300 iP


W 400 iP

进气口法兰

DN

100 ISO-K

100 CF

160 ISO-K

160 CF

抽速氮气 氩气氦 气 氢气

I x s-1I x s-1I x s-1I x s-1

300 260 260 190

300 260 260 190

365 330 280 200

365 330 280 200

转速

min-1

58 800

58 800

58 800

58 800

压缩比氮气氢气氦 气


1 0 x 10103 2 x 103 9 2 x 104

1 0 x 1010 3 2 x 103 9 2 x 104

1 0 x 1010 3 2 x 103 9 2 x 104

1 0 x 1010 3 2 x 103 9 2 x 104

极限压强

mbar (Torr)

< 10-8 (< 0 75 x 10-8)

< 10-10 (< 0 75 x 10-10)

< 10-8 (< 0 75 x 10-8)

< 10-10 (< 0 75 x 10-10)

高除气温度

°C (°F)

–

80 (176)

–

80 (176)

前级耐压，对于氮气

mbar (Torr)

8 (6)

8 (6)

8 (6)

8 (6)

推荐的前级泵


TRIVAC D 2,5 E TRIVAC D 8 B  

TRIVAC D 2,5 E TRIVAC D 8 B  

TRIVAC D 2,5 E TRIVAC D 8 B  

T

RIVAC D 2,5 E TRIVAC D 8 B

加速时间

min

< 5

< 5

< 5


< 5

前级管道法兰(卡簧式)  

DN

16 ISO-KF

16 ISO-KF

16 ISO-KF


16 ISO-KF

保护气/破空端口(卡簧式)  

DN

16 ISO-KF

16 ISO-KF

16 ISO-KF


16 ISO-KF

水冷接口尺寸(可选)  

G

1/8"

1/8"

1/8"


1/8"

重量

kg (lbs)

12 (26)

12 (26)

12 (26)


12 (26)




自1972年发展至今,深圳高志自动机电有限公司(自动工程有限公司)已成为一间享负盛名的真空泵、压缩机、鼓风机、气动马达、真空系统及各类气动配件的供应商。
深圳高志自动机电有限公司华西办专业从事世界各知名品牌的销售；如美国WALKERS、德国BECKER、德国LEYBOLD、美国GAST、日本FUJI及日本ANLET等，亦特别为客户量身订做之一系列高质素及精心研制的系统,其中包括中央真空系统。这些品牌在气动技术领域皆处於全球性领导地位 , 其产品广泛地应用於电子、医疗、化学、食品包装、印刷、鞋类机械制造、金属洗濯、塑胶真空脱泡、污水处理等行业。本公司同时供应不同国家的气动配件,如美国的ALLENAIR 、英国的MAXAM 、台湾的MINDMAN 及日本的HORI等。除产品销售外,本公司也提供相关配件及维修保养和技术支援等服务。为能对客户提供最快捷的服务,本公司已在中国国内数个主要城市开设有服务点,其中包括深圳、无锡、成都、广州、上海、天津及济南等。从事气动行业超过30年,自动工程有限公司无论在提供优质服务及技术支援等方面都能满足客户之要求,并因此确立了其在行业上之领导地位及声誉。
我公司提供真空泵，气动马达，漩涡风机，螺杆真空泵，无油活塞泵，水环泵，中央真空系统，品牌包括WALKERS,Agilent ,BUSCH，GAST，FUJI，BECKER, Oerlikon LEYBOLD, Rietschle Thomas，Pfeiffer Vacuum， Edwards Vacuum ，KAWAKE,SULLAIR,ST等
自1972年发展至今，深圳高志自动机电有限公司(自动工程有限公司)已成为一间享负盛名的真空泵、压缩机、鼓风机、气动马达、真空系统及各类配件的供货商。
本公司专业从事世界知名品牌的销售，如

美国的威斯（WALKERS）
德国的莱宝 ( OERLIKON LEYBOLD )、
美国的泰悉尔/凱尼 ( TUTHILL / KINNEY )、
美国的嘉仕达 ( GAST )、

美国的安捷伦（Agilent）
丹麦的JUN-AIR、
德国的寿力 ( SULLAIR )、
德国的贝克 ( BECKER )、
韩国的KOWEL、

英国的 Allenair
日本的富士 ( FUJI ) 、
日本的HORI
香港的是高的 ( ScoreTech )等，
亦特别为客户量身订做之一系列高质素及精心研制的系统,其中包括中央真空系统。这些品牌在真空技术领域皆处于全球性领导地位，其产品广泛地应用于电子、医疗、化学、食品包装、印刷、滤油、仪器、覆模、鞋类机械制造、金属洗濯、塑料真空脱泡、污水处理等行业。

除产品销售外，本公司也提供相关配件及维修保养、系统工程和技术支持等服务。为能对客户提供最快捷的服务,本公司已在中国数个主要城市开设销售及维修服务办事处，其中包括深圳、广州、成都、重庆、合肥、上海、天津及沈阳。从事真空行业超过30年，自动工程有限公司无论在提供优质优化服务及技术支持等方面都能满足客户之要求，并因此确立了其在行业上之领导地位及声誉。




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