Agilent离子和钛升华组合泵

厂商 ：深圳高志自动机电有限公司成都部

广东 深圳市
  • 主营产品：
  • 美国GAST真空泵
  • JUN-AIR空压机
  • Agilent真空泵
联系电话 ：18922857887
商品详细描述

VacIon Plus 离子和钛升华组合泵


 


从上世纪五十年代，由瓦里安公司首先发明的溅射离子泵问世以来，越来越多的新设计和新技术投入使用，其中大部分源自瓦里安公司，即现在的安捷伦科技。从世界上第一台二极型离子泵，到三极型离子泵，再到Starcell系列产品乃至世界闻名的VacIon Plus 产品家族等。

 

VacIon Plus离子泵

 

?VacIon Plus 是安捷伦科技旗下的世界知名的离子泵产品家族，包括全系列离子泵、控制电源、可选配件及附件。可为各种应用提供相应解决方案。除标准产品外，安捷伦科技还为特定应用提供包括电源及相关附件在内的专属解决方案，以满足用户对起始工作压强、离子泵工作范围以及不同成份混合气体等指标的特殊要求。

?VacIon Plus 离子泵产品家族拥有Diode 二极型、Noble Diode 钽阴极二极型以及Starcell三极型泵在内的全系列产品，以最 好的超高真空获得技术为众多应用领域服务。除MiniVac和Dual 两款离子泵电源外，最 新4UHV 离子泵控制器则为不同应用提供了更为丰富的选择。

 

钛升华复合型离子泵

 

?钛升华复合型离子泵将两种抽气原理合二为一：

钛升华过程针对活性气体提供了极高的抽速，而同时Starcell离子泵则有效清除如氩气等惰性气体和甲 烷等非活性气体。复合型泵通过额外的法兰将钛升华泵源以及低温筒集成在泵体当中。安捷伦科技还可针对客户的特殊需求提供定制产品。

 

4UHV控制器 - 专为超高真空设计

 

最 新的安捷伦4UHV 离子泵控制器能同时控制四台离子泵，可对泵进行独立操作，并且支持各个型号（包括Diode，Noble Diode，StarCell）。LCD 显示可同时读取并显示四通道信息，包括离子泵电压，电流和压力。可变电压能够最 佳读取抽速和压力。标配内置设定点，远程操作，以及RS232/485 电脑交互界面。

 

产品特点:

l  优化设计的单元结构尺寸和形状

l  特别设计的陶瓷绝缘材料

l  三种不同的抽气单元可以满足抽除种混合气体和特殊应用的要求 (二级泵, Noble二级泵（钽）, 及拥有专利的StarCell三级泵)

l  各种抽速范围的离子泵

l  安捷伦真空采用了最 严格的高真空处理工艺来确保离子泵的卓越品质

l  根据用户特殊要求设计定制

l  可选配相应的烘烤加热装置，以更妥善地烘烤泵体

 


技术参数1：

 

 

 

Miniature Pump

  2 l/s Pump

10 l/s Pump

Vaclon Plus 20

Vaclon Plus 40

Vaclon Plus 55

进气口法兰

 

 

 

 

2 ?” OD CFF

2 ?” OD CFF

4 ?” OD CFF

组件类型

 

Diode

Diode

Diode

StarCell

Noble Diode

Diode

StarCell

Noble Diode

Diode

StarCell

Noble Diode

Diode

抽速(Saturated Pump at 1-6 mbar) 氮气

l/s

0.2

2

10

20

22

27

34

36

40

50

53

55

工作寿命

(at 1-6 mbar)

Hours

N/A

8000

40000

80

50

50

80

50

50

80

50

50

最 大启动压力

mbar

1 x 10-4

1 x 10-4

≤1 x 10-4

<10-2

<10-3

<10-3

<10-2

<10-3

<10-3

<10-2

<10-3

<10-3

最 大烘烤温度

°C

400 (without magnet)

150 (with magnet)

400 (without magnet)

150 (with magnet)

350

350

350

350

350

350

350

350

350

350

重量

Kg

0.3

0.3

4

7

17

18

半导体行业认证

 

-

-

+

+

+

+

 

技术参数2：

 

 

 

Vaclon Plus 75

Vaclon Plus 150

Vaclon Plus 300

Vaclon Plus 500

进气口法兰

 

6” OD CFF

6” OD CFF

8” OD CFF

8” OD CFF

组件类型

 

StarCell

Noble Diode

Diode

StarCell

Noble Diode

Diode

StarCell

Noble Diode

Diode

StarCell

Noble Diode

Diode

抽速(Saturated Pump at 1-6 mbar) 氮气

l/s

65

68

75

125

135

150

240

260

300

410

440

500

工作寿命

(at 1-6 mbar)

Hours

80

50

50

80

50

50

80

50

50

80

50

50

最 大启动压力

mbar

<10-2

<10-3

<10-3

<10-2

<10-3

<10-3

<10-2

<10-3

<10-3

<10-2

<10-3

<10-3

最 大烘烤温度

°C

350

350

350

350

350

350

350

350

350

350

350

350

重量

Kg

19

43

69

120

半导体行业认证

 

+

-

-

-


Miniature Pump 离子泵

 

 

 

Vaclon Plus离子泵

 

 

 

4UHV控制器

 



自1972年发展至今,深圳高志自动机电有限公司(自动工程有限公司)已成为一间享负盛名的真空泵、压缩机、鼓风机、气动马达、真空系统及各类气动配件的供应商。
深圳高志自动机电有限公司华西办专业从事世界各知名品牌的销售；如美国WALKERS、德国BECKER、德国LEYBOLD、美国GAST、日本FUJI及日本ANLET等，亦特别为客户量身订做之一系列高质素及精心研制的系统,其中包括中央真空系统。这些品牌在气动技术领域皆处於全球性领导地位 , 其产品广泛地应用於电子、医疗、化学、食品包装、印刷、鞋类机械制造、金属洗濯、塑胶真空脱泡、污水处理等行业。本公司同时供应不同国家的气动配件,如美国的ALLENAIR 、英国的MAXAM 、台湾的MINDMAN 及日本的HORI等。除产品销售外,本公司也提供相关配件及维修保养和技术支援等服务。为能对客户提供最快捷的服务,本公司已在中国国内数个主要城市开设有服务点,其中包括深圳、无锡、成都、广州、上海、天津及济南等。从事气动行业超过30年,自动工程有限公司无论在提供优质服务及技术支援等方面都能满足客户之要求,并因此确立了其在行业上之领导地位及声誉。
我公司提供真空泵，气动马达，漩涡风机，螺杆真空泵，无油活塞泵，水环泵，中央真空系统，品牌包括WALKERS,Agilent ,BUSCH，GAST，FUJI，BECKER, Oerlikon LEYBOLD, Rietschle Thomas，Pfeiffer Vacuum， Edwards Vacuum ，KAWAKE,SULLAIR,ST等
自1972年发展至今，深圳高志自动机电有限公司(自动工程有限公司)已成为一间享负盛名的真空泵、压缩机、鼓风机、气动马达、真空系统及各类配件的供货商。
本公司专业从事世界知名品牌的销售，如

美国的威斯（WALKERS）
德国的莱宝 ( OERLIKON LEYBOLD )、
美国的泰悉尔/凱尼 ( TUTHILL / KINNEY )、
美国的嘉仕达 ( GAST )、

美国的安捷伦（Agilent）
丹麦的JUN-AIR、
德国的寿力 ( SULLAIR )、
德国的贝克 ( BECKER )、
韩国的KOWEL、

英国的 Allenair
日本的富士 ( FUJI ) 、
日本的HORI
香港的是高的 ( ScoreTech )等，
亦特别为客户量身订做之一系列高质素及精心研制的系统,其中包括中央真空系统。这些品牌在真空技术领域皆处于全球性领导地位，其产品广泛地应用于电子、医疗、化学、食品包装、印刷、滤油、仪器、覆模、鞋类机械制造、金属洗濯、塑料真空脱泡、污水处理等行业。

除产品销售外，本公司也提供相关配件及维修保养、系统工程和技术支持等服务。为能对客户提供最快捷的服务,本公司已在中国数个主要城市开设销售及维修服务办事处，其中包括深圳、广州、成都、重庆、合肥、上海、天津及沈阳。从事真空行业超过30年，自动工程有限公司无论在提供优质优化服务及技术支持等方面都能满足客户之要求，并因此确立了其在行业上之领导地位及声誉。

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