厂商 :深圳高志自动机电有限公司成都部
广东 深圳市- 主营产品:
- 美国GAST真空泵
- JUN-AIR空压机
- Agilent真空泵
Navigator / TwisTorr 涡轮分子泵
安捷伦(前Varian/瓦瑞安)提供了抽速从 46 至 7500 升/秒的全系列涡轮分子泵,其中包括 Navigator 和 TwisTorr 两个产品线。安捷伦涡轮分子泵经过优化设计,可以在低压强内实现高压缩比,在大抽气量和高前级压强是实现最大的压差。该涡轮分子泵为无油、无污染型,可以以任意角度安装而不对材料施加应力,故障率低,其平均故障时间 (MTTF) 通常大于 250000 小时。该泵以安捷伦全球范围内优秀的应用和技术支持团队为后盾。涡轮分子泵的应用范围包括高能物理和研究、纳米技术、质谱技术、工业真空加工和半导体,并可用作扫描电子显微镜 (SEM) 的专用泵。
产品特点:
l 功耗更低、性能更佳
l 通过减少发热而节能,并提高可靠性
l 为风冷而优化的冷却翅片
l 通过降低工作温度进一步提高可靠性
l 功率要求低,前级耐压高及可承受高气载
l 可连接各种前级泵
l 冷却方式灵活(风冷或水冷)
l 先进的转子设计与 TwisTorr 技术相结合,可将泵级数减少 30%
l 我们特有的整体型转子可减少材料应力并改善组装件容差
l 电机缩短启动时间并在气体负荷变化情况下提高泵的稳定性
l 洁净的免维护真空
技术参数:
|
|
|
Turbo-V81T |
Turbo-V81M |
TwisTorr-84FS |
TwisTorr-304FS |
Turbo-V551 Navigator |
Turbo-V701 Navigator |
Turbo-V750 TwisTorr |
Turbo-V850 TwisTorr |
Turbo-V1001Navigator |
Turbo-V2300TwisTorr |
Turbo-V1K-G |
Turbo-V2K-G System |
Turbo-V3K-G System |
|||||||||
|
|
DN40 |
DN63 |
DN40 |
DN63 |
DN40 |
DN63 |
DN100 |
DN160 |
DN100 |
DN160 |
DN200 |
DN100 |
DN160 |
DN200 |
DN160 |
DN200 |
DN250 |
DN250 |
DN160 |
DN200 |
DN250 |
DN250 |
抽速, l/s |
氮气 |
50 |
77 |
50 |
77 |
56 |
67 |
250 |
250 |
350 |
550 |
690 |
370 |
700 |
750 |
790 |
950 |
1050 |
2050 |
810 |
1080 |
1600 |
2200 |
|
氦 气 |
56 |
65 |
56 |
65 |
46 |
63 |
255 |
255 |
450 |
600 |
620 |
500 |
680 |
690 |
820 |
870 |
900 |
1800 |
950 |
1150 |
|
|
|
氢气 |
46 |
50 |
46 |
50 |
40 |
53 |
220 |
220 |
450 |
510 |
510 |
470 |
580 |
590 |
860 |
900 |
920 |
1500 |
680 |
730 |
|
|
|
氩气 |
|
|
|
|
57 |
66 |
250 |
250 |
|
|
|
340 |
680 |
700 |
|
|
|
|
750 |
1040 |
|
|
压缩比 |
氮气 |
7x108 |
3x108 |
>1x1011 |
>1x1011 |
>1x109 |
1x109 |
1x1011 |
1x1011 |
1x109 |
>8x108 |
3x105 |
>1x107 |
||||||||||
|
氦 气 |
3x103 |
8x104 |
2.0x106 |
>1x108 |
1x107 |
1x107 |
2x108 |
2x108 |
1x107 |
8x105 |
>4x104 |
|
|
|||||||||
|
氢气 |
3x102 |
7x103 |
5.0x104 |
1.5x106 |
1x106 |
1x106 |
2.5x106 |
2.5x106 |
1x106 |
4x104 |
1.5x104 |
|
|
|||||||||
|
氩气 |
|
|
>1x1011 |
>1x1011 |
|
|
1x1011 |
1x1011 |
|
|
5x108 |
|
|
|||||||||
极限压强,mbar |
|
5x10-9 |
5x10-10 |
<8x10-10 |
<1x10-10 |
<1x10-10 |
<1x10-10 |
<1x10-10 |
<1x10-10 |
<1x10-10 |
<1x10-10 |
<1x10-10 |
<1x10-8 |
<1x10-9 |
|||||||||
启动时间,min |
|
< 1 |
< 1 |
<2 |
<3 |
<5 |
<5 |
<6 |
<3 |
<4 |
<6 |
<5 |
<7 |
<6 |
|||||||||
转速, rpm |
|
80,000 |
80,000 |
81,000 |
60,000 |
42,000 |
42,000 |
50,000 |
50,000 |
38,000 |
33,300 |
45,660 |
33,000 |
31,800 |
|||||||||
进气口法兰 |
KF, mm |
40 |
|
40 |
|
40 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
CF, mm |
35 |
63 |
35 |
63 |
35 |
63 |
100 |
160 |
100 |
160 |
200 |
100 |
160 |
200 |
|
200 |
|
250 |
|
|
|
|
|
ISO, mm |
|
63 |
|
63 |
|
63 |
100 |
160 |
|
160 |
200 |
|
160 |
200 |
160 |
200 |
250 |
|
|
|
|
|
|
ISO-F, mm |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
160-F |
200-F |
|
160 |
200 |
|
200-F |
250-F |
250-F |
160-F |
200-F |
250-F |
250-F |
排气口法兰 |
KF |
NW16 |
NW16 |
NW16 |
NW16 (NW25 optional) |
NW25 |
NW25 |
NW25 |
NW25 NW40 |
NW40 |
NW40 |
NW25 |
NW40 |
NW40 |
NW40 |
||||||||
SEM 版本 |
|
|
V |
|
|
V |
V |
|
|
V |
|
|
|
|
|||||||||
电源控制器 |
Rack |
V |
V |
V |
V |
V |
V |
V |
V |
V |
V |
V |
|
|
|||||||||
|
on board |
V |
V |
V |
V |
V |
V |
|
|
V |
|
V |
|
|
|||||||||
|
Integrated electronics |
|
|
|
|
|
|
V |
V |
|
|
|
V |
V |
|||||||||
|
PCB |
V |
V |
V |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Turbo-V 2K-G 涡轮分子泵
Turbo-V 2K-G 不仅是一台泵。该装置是专门为等离子溅射工艺精心设计的专用分子泵系统。其叶片级数和泵的整体结构均经过优化,可以工作在高流速的氩气氛围下和温度极高的环境中。此外,V-2K G的特点为控制器集成于泵内、一体化的放空和吹扫阀以及免维护的轴承。所有这些特点使安捷伦 Turbo-V 2K-G 成为镀膜工业的最 佳分子泵解决方案。
特点:
l 首 款为薄膜沉积应用而专门设计的分子泵解决方案
l 目前性能最 佳、最紧凑的装置。首 个为最大限度提高系统生产率和正常运行时间而设计的完全集成化解决方案。
l 将涡轮分子泵、驱动器件、电源、MoniTorr、吹扫气装置和通信装置集于一身
l 通用电子器件接口和使用简单的控制软件模拟 I/O 信号和 RS232/RS485 接口为标准配置
l 安捷伦 Profibus 接口(可选)
Navigator涡轮分子泵
TwisTorr 涡轮分子泵
自1972年发展至今,深圳高志自动机电有限公司(自动工程有限公司)已成为一间享负盛名的真空泵、压缩机、鼓风机、气动马达、真空系统及各类气动配件的供应商。
深圳高志自动机电有限公司华西办专业从事世界各知名品牌的销售;如美国WALKERS、德国BECKER、德国LEYBOLD、美国GAST、日本FUJI及日本ANLET等,亦特别为客户量身订做之一系列高质素及精心研制的系统,其中包括中央真空系统。这些品牌在气动技术领域皆处於全球性领导地位
, 其产品广泛地应用於电子、医疗、化学、食品包装、印刷、鞋类机械制造、金属洗濯、塑胶真空脱泡、污水处理等行业。本公司同时供应不同国家的气动配件,如美国的ALLENAIR
、英国的MAXAM 、台湾的MINDMAN 及日本的HORI等。除产品销售外,本公司也提供相关配件及维修保养和技术支援等服务。为能对客户提供最快捷的服务,本公司已在中国国内数个主要城市开设有服务点,其中包括深圳、无锡、成都、广州、上海、天津及济南等。从事气动行业超过30年,自动工程有限公司无论在提供优质服务及技术支援等方面都能满足客户之要求,并因此确立了其在行业上之领导地位及声誉。
我公司提供真空泵,气动马达,漩涡风机,螺杆真空泵,无油活塞泵,水环泵,中央真空系统,品牌包括WALKERS,Agilent
,BUSCH,GAST,FUJI,BECKER,
Oerlikon LEYBOLD, Rietschle Thomas,Pfeiffer Vacuum, Edwards
Vacuum ,KAWAKE,SULLAIR,ST等
自1972年发展至今,深圳高志自动机电有限公司(自动工程有限公司)已成为一间享负盛名的真空泵、压缩机、鼓风机、气动马达、真空系统及各类配件的供货商。
本公司专业从事世界知名品牌的销售,如
美国的威斯(WALKERS)
德国的莱宝 ( OERLIKON LEYBOLD )、
美国的泰悉尔/凱尼 (
TUTHILL / KINNEY )、
美国的嘉仕达 ( GAST )、
美国的安捷伦(Agilent)
丹麦的JUN-AIR、
德国的寿力 ( SULLAIR )、
德国的贝克 ( BECKER )、
韩国的KOWEL、
英国的
Allenair
日本的富士 ( FUJI ) 、
日本的HORI
香港的是高的 ( ScoreTech )等,
亦特别为客户量身订做之一系列高质素及精心研制的系统,其中包括中央真空系统。这些品牌在真空技术领域皆处于全球性领导地位,其产品广泛地应用于电子、医疗、化学、食品包装、印刷、滤油、仪器、覆模、鞋类机械制造、金属洗濯、塑料真空脱泡、污水处理等行业。
除产品销售外,本公司也提供相关配件及维修保养、系统工程和技术支持等服务。为能对客户提供最快捷的服务,本公司已在中国数个主要城市开设销售及维修服务办事处,其中包括深圳、广州、成都、重庆、合肥、上海、天津及沈阳。从事真空行业超过30年,自动工程有限公司无论在提供优质优化服务及技术支持等方面都能满足客户之要求,并因此确立了其在行业上之领导地位及声誉。
-
供应美国Micropump齿轮泵工业喷涂实验仪器用高精准度高可靠性耐腐蚀磁力驱动齿轮泵高压输送
-
供应美国GAST嘉仕达原装便携高原制氧机无油压缩泵空压机120R689
-
卷烟企业螺杆真空泵系统 中央真空系统
-
成都 重庆反应离子刻蚀系统(RIE)真空泵 分子泵 涡旋泵 高真空泵 螺杆真空泵
-
成都 重庆ICP等离子体刻蚀系统用真空泵 分子泵 前级泵 螺杆真空泵 高真空泵
-
成都 重庆低压化学气相淀积系统LPCVD专用真空泵 分子泵 螺杆真空泵 高真空泵
-
成都 重庆氧化炉(VDF)专用真空泵 分子泵 高真空泵 螺杆真空泵 前级泵
-
成都重庆供应气相外延炉专用高真空泵干式螺杆真空泵/分子泵
-
成都 重庆厂家供应分子束外延系统专用真空泵/分子泵/前级泵/螺杆真空泵
-
成都供应思科ScrollTec浮动涡旋泵高端仪器专用高原制氧机