SX系列半自动晶圆探针台

产品参数

品牌：HANNA/哈纳 型号：SX-6 加工定制：是 类型：其他 外形尺寸：1000mm*1400mm*1400mm

SX系列半自动晶圆探针台 

 型号 SX-6                     SX-8                 SX-12 

 外形（W*D*H） 1000mm*1400mm*1400mm  1100mm*1500mm*1400mm 1200mm*1600mm*1400mm 

 重量 约1000KG 约1150KG 约1350KG 

 电力需求 AC220V，50~60Hz CDA需求 0.4~0.8Mpa Chuck 尺寸 6″ 8″ 12″

 X-Y轴行程 200mm*300mm 250mm*400mm 350mm*500mm X-Y轴移动解析度 0.1μm X-Y轴重定位精度 ≤±1μm X-Y移动速度 ≥70mm/sec Z轴行程 20mm Z轴移动解析度 0.1μm Z轴重定位精度 ≤±1μm Z轴移动速度 ≥20mm/sec Theta角度行程 ±10° Theta角度解析度 0.0001° 样品固定方式 多孔真空吸附，独立分开控制 更换样品方式 Chuck快速拉出 结构 三轴超低噪声设计，镀金，电学独立悬空（chuck可作为背电极） 

 特点： 超高的测试精度，效率和稳定性 便捷的仪器接入 多倍率同时显示光学系统 可升级大功率晶圆测试 （-60~200℃）超低噪声高低温Chuck 可升级射频测试 功能丰富的测试软件 可升级全自动测试

产品实拍

深圳市鑫志尚电子有限公司

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公司简介

SEMISHARE致力全球半导体技术的共享事业，专注于促进中国半导体事业的快速成长，目标成为半导体行业领先的total solution供应商。目前在中国设有半导体仪器营销事业群。 SEMISHARE半导体仪器营销事业群立足中国深圳，香港，北京，上海，西安等城市为全中国半导体行业提供全球最先进的半导体检测和工艺设备营销与技术集成服务，助力先进技术的研发。 SEMISHARE拥有热诚，专业的员工和遍及中国的营销及服务网络，快速响应客户需求，提供客户化的产品和端到端的服务，助力客户的成功。 目前，SEMISHARE的营销产品和解决方案已经应用于中国100多家客户，服务中国研发机构前50强中的40家。

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