反应烧结碳化硅悬臂桨 碳化硅圆棒

反应烧结碳化硅悬臂桨 碳化硅圆棒

反应烧结碳化硅（SISIC）制品——异型件 反应烧结碳化硅（SISIC）异型件耐高温、高硬度，应用于冶金、化工原料加工、高腐蚀、高磨损流体物质输送、机械耐磨件、粉体加工等。

反应烧结碳化硅陶瓷，具有抗氧化性强、耐磨性能好、硬度高、热稳定性好、热膨胀系数小、热导率大以及抗热震和耐化学腐蚀等优良特性。因此，作为战略材料已在石油、化工、机械、航天、核能等领域获得广泛应用。如，SiC陶瓷可用于各类轴承、滚珠、喷嘴、密封件、切削工具、燃汽涡轮机叶片、涡轮增压器转子、反射屏和火箭燃烧室内衬等等。

反应烧结碳化硅悬臂桨，是半导体晶圆装载系统的关键部件。悬臂浆性能稳定，在高温环境下不变形，晶圆装载力大，适用于机器人自动装载和搬运系统。由于悬臂浆截面稳定不变形，使得利用现有的炉管制备更大规格晶圆成为可能。悬臂浆与LPCVD涂层的热膨胀系数相近，应用于LPCVD，极大地延长了维护清洗的周期，并大幅减少污染物。