真空镀膜设备

罗茨泵的抽气特点
　　在较宽的压力范围内有较大的抽速；
　　转子之间、转子与泵腔壁之间有间隙，泵腔内运动件无摩擦，不必润滑，泵腔内无油；
　　转子形状对称，动平衡性能良好，运转平稳，选择高精度的齿轮传动，运转时噪音低;可获得较高转速(抽速)；
　　罗茨泵在抽气过程中其工作空间容积是不变的，即“无内压缩”，这与大多数的变容式真空泵不同。
　　气体的排出：当转子顶部转过排气口边缘，封闭空间与排气侧相通时，由于排气侧气体压力较高，则有一部分高压气体返冲到封闭空间中，使空间内气体压强突然升高到排气压力，即所谓的“外压缩过程”。当转子继续转动时，气体排出泵外。

技术指标：
真空室：φ450×400
极限压力：5×10-5Pa
工作压力：1～1.0× 10-2Pa
真空系统主泵：涡轮分子泵
阴极靶数量：2～5个
工作气体控制：质量流量控制器，自动压强控制仪
工作气路：2路或4路
靶电源：直流磁控溅射源（10000W），
中频电源（10000W），
射频电源（2000W）。
工件转动：行星式公自转
工件负偏压：/
性能特点：磁控靶数量多，靶材种类变化大，各种参数变化范围大，所镀制膜层有金属、合金、化合物，可镀制单
层或多层膜。