二手光学真空镀膜机

   昭和真空镀膜机SGC-S1550i

超高性能光学薄膜用镀膜机     Sapio 1300 / 1550

概要

1. 高效率排气系统
2. 可降低颗粒及微尘污染（选购配置）
3. 高精度膜厚控制系统
4. 高功率/大面积照射离子源

特长

1. 重复性性能

   采用新开发研制的光纤式光学膜厚仪、配备80点监控玻璃的稳定温度设计实现高精度特性。通过纳入难以受到污染的技术，并以质量稳定的真空技术， 连续20批次IR截止滤光片镀膜中不需要清扫/校正。

2. 膜质稳定

   排气对策彻底、即便真空槽内部有污染也不影响特性、膜质稳定。在连续20批次I R截止滤光片镀膜中，将雾度值（浊度）的增加控制在最小。

3. 可降低颗粒及微尘污染

   通过抗湍流排气系统措施/离子源周围防污措施/电子*微调可可降低颗粒及微尘污染。

4. 高功率ＲＦ离子源

   Sapio专用设计配备高效率RF离子源，可从多层光学滤波片到树脂基片上镀高品质薄膜。用独特的方法确定离子中和器点火，使其稳定放电。